ピエゾステージ XYZ軸高耐久モデル
THKプレシジョン株式会社

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この製品について

1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ

■2つの機構で性能分類高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。

■直接駆動機構・圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。
・ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。
・剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。

■変位拡大機構・圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。
・拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。
・内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。

■製品応用例・半導体、FPD検査装置
・HDDテスタ
・レーザ光学系アライメント
・干渉系機器
・分析機器
・ナノメータポジショニング

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ピエゾステージ XYZ軸高耐久モデル

取扱企業
THKプレシジョン株式会社

カテゴリ

ステージ

ピエゾステージ

ステージ

位置決めステージ

ステージ

XYZステージ

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ピエゾステージ XYZ軸高耐久モデル品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	ストローク	分解能	繰り返し位置決め精度	耐荷重	共振周波数	ピッチングヨーイングローリング	内蔵変位センサ	リニアリティ	圧電素子静電容量	剛性	本体
	PSM3L160-100U	要見積もり	・クローズ時 100μm ・オープン時 130μm	2nm	±2nm	10N	・0g負荷時 220Hz ・100g負荷時 210Hz	3"/2"/2"	静電容量式変位センサ	0.1%	12.8μF/axis	・ (X) 0.69μm/N ・ (Y) 0.32μm/N ・ (Z) 1.02μm/N	・質量 11.6kg ・材質アルミ合金、ステンレス鋼・表面処理黒アルマイト、無電解ニッケルメッキ