ピエゾステージ XYZ軸スタンダードモデル
THKプレシジョン株式会社

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ

■2つの機構で性能分類高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。

■直接駆動機構・圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。
・ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。
・剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。

■変位拡大機構・圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。
・拡大率により、直接駆動の数倍～十数倍のストロークが得られます。
・内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。

■製品応用例・半導体、FPD検査装置
・HDDテスタ
・レーザ光学系アライメント
・干渉系機器
・分析機器
・ナノメータポジショニング

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
ピエゾステージ XYZ軸スタンダードモデル

取扱企業
THKプレシジョン株式会社

カテゴリ

ステージ

ピエゾステージ

ステージ

位置決めステージ

ステージ

XYZステージ

この商品に関する問題を報告する

10人以上が見ています

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

ピエゾステージ注目ランキング

ピエゾステージの製品137点中、注目ランキング上位6点

大口径で高いダイナミクス P-518 • P-528 • P-558 ピエゾZ /チップ/チルトステージ

ピーアイ・ジャパン株式会社

850人以上が見ています

最新の閲覧: 4時間前

P-620.1 • P-629.1 PIHera X軸　小型ピエゾステージ

ピーアイ・ジャパン株式会社

710人以上が見ています

最新の閲覧: 6分前

P-620.Z-P-622.Z PIHera Z軸動作ピエゾステージ

ピーアイ・ジャパン株式会社

650人以上が見ています

最新の閲覧: 15時間前

P-620.2–P-629.2PIHera XY軸　小型ピエゾステージ

ピーアイ・ジャパン株式会社

510人以上が見ています

最新の閲覧: 34分前

真空対応　P-621.1U•P-625.1U PIHera X軸ピエゾステージ

ピーアイ・ジャパン株式会社

460人以上が見ています

最新の閲覧: 21分前

Ø75mm までのミラー駆動＿ S-340 ピエゾチップ/チルトプラットフォーム

ピーアイ・ジャパン株式会社

450人以上が見ています

最新の閲覧: 5時間前

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

一括見積もりの使い方

ピエゾステージ XYZ軸スタンダードモデル品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	ストローク	分解能	繰り返し位置決め精度	耐荷重	共振周波数	ピッチングヨーイングローリング	内蔵変位センサ	リニアリティ	圧電素子静電容量	剛性	本体
	PS3H70-020UA	要見積もり	・クローズ時 (X,Y) 20μm (Z) 12μm ・オープン時 (X,Y) 22μm (Z) 15μm	(X,Y,Z) 1nm	(X,Y,Z) ±1nm	10N	・0g負荷時 970Hz ・100g負荷時 770Hz	1"/1"/1"	静電容量式変位センサ	0.1%	(X,Y) 2.15, (Z) 5.4μF	(X,Y) 0.2, (Z) 0.1μm/N	・質量 1,700g ・材質銅・表面処理無電解ニッケルメッキ