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ピエゾステージ XY軸 高耐久モデル-PKM2H130-040U
ピエゾステージ XY軸 高耐久モデル-THKプレシジョン株式会社

ピエゾステージ XY軸 高耐久モデル
THKプレシジョン株式会社



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この製品について

1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ

■2つの機構で性能分類

高い共振周波数を備え高速応答性重視の「直接駆動機構」と、ストロークを確保した「変位拡大機構」に分類されます。

■直接駆動機構

・圧電素子が直接移動テーブルを動かす機構です。 ・ストロークを抑えることで分解能、応答性に優れています。 ・剛性が高く、負荷が大きくても安定した位置決めが行えます。

■変位拡大機構

・圧電素子の伸長を機械的に増幅させる機構を備えています。 ・拡大率により、直接駆動の数倍~十数倍のストロークが得られます。 ・内蔵変位センサによるフィードバック制御で位置再現性も維持します。

■製品応用例

・半導体、FPD検査装置 ・HDDテスタ ・レーザ光学系アライメント ・干渉系機器 ・分析機器 ・ナノメータポジショニング

  • シリーズ

    ピエゾステージ XY軸 高耐久モデル

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ピエゾステージ XY軸 高耐久モデル 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ストローク 分解能 繰り返し位置決め精度 耐荷重 共振周波数 ピッチング ヨーイング ローリング 内蔵変位センサ リニアリティ 圧電素子静電容量 剛性 本体
ピエゾステージ XY軸 高耐久モデル-品番-PKM2H130-040U

PKM2H130-040U

要見積もり

・クローズ時 40μm
・オープン時 50μm

1nm

±1nm

10N

・0g負荷時 1,440Hz
・100g負荷時 1,180Hz

2"/2"/2"

静電容量式変位センサ

0.1%

12.8μF/axis

0.06μm/N

・質量 1.0kg
・材質 アルミ
・表面処理 黒アルマイト

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使用用途

#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #表面観察 #干渉計測

構造

単一軸ステージ 複数軸ステージ ガイドレール型

用途

高精度測定用 表面加工用 ラボ実験用 光学調整用

ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

THKプレシジョン株式会社は、2002年に設立された、産業用精密機械装置・機構の開発・製造を行う企業です。 圧電アクチュエータを利用した「超精密位置決め機器」を主力製品にもち、これはナノメートルオーダーでの高精度なポジ...

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  • 本社所在地: 東京都
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