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スクリュー型ドライ真空ポンプ LS-LS120A C仕様
スクリュー型ドライ真空ポンプ LS-株式会社アルバック

スクリュー型ドライ真空ポンプ LS
株式会社アルバック

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この製品について

LSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来、排気速度を大きくする為には多くの電力を消費していましたが、独自開発のスクリュー形状と省電力技術の融合により、高速排気と低消費電力の両立を実現したドライ真空ポンプです。 4機種をラインアップし、装置の大きさや使用条件、用途に合わせて最適な排気容量のポンプを選択できます。

■特長

・大気圧付近の排気速度は最大80m3/hあり、従来の真空ポンプよりも排気時間が約20%短縮できます。 ・標準搭載されている専用サイレンサーがドライ真空ポンプ特有の騒音問題も解消します。到達圧力時の騒音値は61dB (A) 以下で、運転中にも気にならないレベルになっています。 ・C仕様に標準搭載されたECO-SHOCK技術は省電力の為のアルバック独自技術です。到達圧力時の消費電力を到達圧力時の消費電力は0.6kW以下まで低減できます。 ・LSシリーズは軸シールガスが不要です。窒素や空気などの排気を主とするクリーンプロセスにおいてランニングコストが低減出来ます。 ・更に排気速度を高めたい方に、メカニカルブースターポンプを組み合わせていただくことをお勧めしています。組み合わせる事で120~1200m3/hに到達可能です。 用途

■C仕様:クリーンプロセス

・特徴:ECO-SHOCK内蔵の低消費電力タイプ ・用途:エアー排気やN2排気等のクリーン排気向け、スパッタリング/蒸着/貼り合せ/ロードロック室/TMP補助など

■L仕様:ライトプロセス

・特徴:表面処理、パージ機能を擁するライトプロセスタイプ ・用途:水蒸気や揮発性薬液排気等のライトプロセス向け、真空乾燥/凍結乾燥/アッシング/一般産業用途など

■標準付属品

取扱説明書 (CD-R) 、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード

■本体オプション

電圧仕様:200V級または400V級、シール部材質:パーフロロエラストマー (Lタイプのみ)

■外部オプション

MBP吸気口変換フランジ、筐体排気ポート、耐震固定金具、LR互換ユニット (吸気口、信号) 、パージガスバルブ

  • シリーズ

    スクリュー型ドライ真空ポンプ LS

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スクリュー型ドライ真空ポンプ LS 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 最大排気速度 (m3/h) 到達圧力 (Pa) 電源電圧 消費電力概略値 (kW) 冷却水量 (L/min) 騒音値 (dB (A) ) 吸気口 排気口 質量 (kg) 適合規格
スクリュー型ドライ真空ポンプ LS-品番-LS120A C仕様

LS120A C仕様

要見積もり

120

≦0.6

200V級:3相、50/60Hz、AC200-240V または400V級:3相、50/60Hz、AC380-480V

0.6

>2.0

61

KF (水平) /VG50 (垂直)

KF40

142

CE、cTUVus

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社アルバックは1952年の創業以来、真空技術で産業と科学の発展に貢献するという理念で製品開発を進めている企業です。 真空技術は、半導体・電子部品・スマートフォン・テレビ・自動車・医薬品など多くの身近な製品をつくる...

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  • 本社所在地: 神奈川県
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