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シリーズ
極低温真空非磁性ピエゾ位置決めステージ XD106シリーズ XD106.XYZ200K取扱企業
ワイヤード株式会社カテゴリ
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ピエゾステージの製品154点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 移動方向 | 移動範囲 (0~150V) (μm±10%) | 低温移動範囲 (0~150V) (μm±10%) | 分解能 (nm) | 無負荷時共振周波数 (Hz±20%) | 荷重200g時共振周波数 (Hz±20%) | 静電容量 (μF±20%) | 素材 | キャリングキャパシティ (g) | 重量 (g±5%) |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
XD106.XYZ200K |
要見積もり |
X、Y、Z |
XY200、Z100 |
XY80、Z50 |
66 x 66 |
150×150×35 |
8 |
0.2 |
0.15 |
<150 |
1 |
ピエゾステージの中で同じ条件の製品
共振周波数: 0 - 200Hz
ピエゾステージをフィルターから探すことができます
使用用途
#精密位置決め #顕微鏡制御 #光学調整 #半導体製造 #ナノ操作 #表面観察 #干渉計測ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000