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高温リン酸エッチング装置 SC300-HT series-SC300-HT series
高温リン酸エッチング装置 SC300-HT series-芝浦メカトロニクス株式会社

高温リン酸エッチング装置 SC300-HT series
芝浦メカトロニクス株式会社

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この製品について

■次世代・先端半導体に対応したグローバルニッチトップ製品の開発を推進

半導体デバイスの微細化が進んでおり、これに対応した装置の開発を進めています。また、性能向上と経済性を両立させ、地球環境に配慮した商品を提供するための新技術の開発に取り組んでいます。前工程から後工程まで、特徴ある装置でお客様のご要望に幅広くお応えしています。

■枚葉窒化膜エッチング工程でシェアNO.1 (当社調べ) 300mm対応枚葉式高温リン酸エッチング装置

先端ロジックデバイス向けの窒化膜エッチング装置として、進化し続ける枚葉式の高温リン酸エッチング装置です。ウェーハ近接ヒーターによるエッチングプロファイルの制御、シリコン濃度制御による高選択性、後洗浄工程の2in1を特⾧としました。デバイスの信頼性と歩留まり向上に貢献します。 特長

■エッチングプロファイルの制御

ゾーン制御式のウェーハ近接ヒーターを備え、ウェーハ中心から端部へのエッチング量を制御可能。下地ロスを極小にします。

■高エッチングレートと高選択比の両立

160℃以上のリン酸温度を維持しつつ、リン酸中のシリコン濃度を制御することで高選択比を実現します。

■2in1コンセプト

リン酸工程と後洗浄工程を1台の装置に備えました。またパターン倒壊対応乾燥技術も搭載可能です。

■熱リン酸処理工程

160℃超のリン酸を処理する枚葉式ウェットエッチャー

■インラインヒーター

高精度ヒーターでリン酸温度の安定化に寄与

■窒化膜ウェットエッチング技術

窒化膜 (Si3N4膜) のウェットエッチング工程では、ウェーハ表面における窒化膜厚のばらつきに合わせて、エッチング量の分布を積極的に制御することを求められる場合があります。しかし従来のバッチ式ウェットエッチング装置では、エッチング量の分布を制御することは難しいという課題がありました。 当社では、ウェーハ近接ヒーターを搭載した枚葉式の高温ウェットエッチング装置を開発し、ヒーターの設定によりウェーハ表面におけるエッチング量の分布を制御することに成功しました。半導体デバイスの性能と歩留まりの向上に貢献します。

  • シリーズ

    高温リン酸エッチング装置 SC300-HT series

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高温リン酸エッチング装置 SC300-HT series 品番1件

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高温リン酸エッチング装置 SC300-HT series-品番-SC300-HT series

SC300-HT series

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使用用途

#半導体製造 #ディスプレイ製造 #MEMS加工 #センサー製造 #光デバイス製造 #電子部品製造 #フォトマスク加工 #ウェーハ加工 #ナノ加工 #試作開発 #学術研究

ウェハサイズ mm

50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300 300 - 350

プラズマソース

CCP型 ICP RF プラズマ マイクロ波

圧力制御

APC制御 FAPC

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

芝浦メカトロニクス株式会社は、神奈川県横浜市に本社を置く、半導体、フラットパネルディスプレイ、電子部品などの用途を対象にした、製造装置の開発・製造及びサービスを行っている会社です。

前工程から後工程まで...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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