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高圧断続スプレー ダイレクトパルスクリーナー-ダイレクトパルスクリーナー
高圧断続スプレー ダイレクトパルスクリーナー-株式会社ゼビオス

高圧断続スプレー ダイレクトパルスクリーナー
株式会社ゼビオス

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この製品について

強固着物除去と金属汚染を除去する装置

■【装置概要】

10MPaの高圧水の断続スプレーユニット。1秒間に最大30回のON/OFF制御が可能。連続流と比較して約1／3の水で繰り返しパーティクルに衝撃を加えます。

■【用途例】

研磨後洗浄

  • シリーズ

    高圧断続スプレー ダイレクトパルスクリーナー

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高圧断続スプレー ダイレクトパルスクリーナー 品番1件

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ダイレクトパルスクリーナー

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ウェハーサイズ mm

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チップサイズ mm

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0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 1 - 2 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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株式会社ゼビオス

  • 本社所在地: 埼玉県

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