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少量生産対応 薬液スクラブ洗浄装置-薬液スクラブ洗浄装置
少量生産対応 薬液スクラブ洗浄装置-株式会社ゼビオス

少量生産対応 薬液スクラブ洗浄装置
株式会社ゼビオス

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この製品について

強固着物除去と金属汚染を除去する装置

■【装置概要】

ディスクブラシ洗浄、ロールブラシ洗浄に薬液洗浄を加えた少量生産対応の装置

■【用途例】

膜付け前洗浄

  • シリーズ

    少量生産対応 薬液スクラブ洗浄装置

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少量生産対応 薬液スクラブ洗浄装置 品番1件

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薬液スクラブ洗浄装置

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ウェハーサイズ mm

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チップサイズ mm

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基板サイズ mm

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処理能力 秒/chip

0 - 1 1 - 2 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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株式会社ゼビオス

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