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1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 [研究開発/少量生産]-1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 [研究開発/少量生産]
1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 [研究開発/少量生産]-株式会社ゼビオス

1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 [研究開発/少量生産]
株式会社ゼビオス



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この製品について

1チャンバーで異物、有機物、金属汚染が取り除ける多目的洗浄装置

■【装置概要】

各種ウエハサイズ、材質に対応した両面スクラブ洗浄と薬液処理を兼用した装置

■【用途例】

膜付け前洗浄、エピ後洗浄、エッチング、ポリッシュ後洗浄、剥離洗浄

  • シリーズ

    1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 [研究開発/少量生産]

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1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 [研究開発/少量生産] 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜)
1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 [研究開発/少量生産]-品番-1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 [研究開発/少量生産]

1チャンバー型スクラブ・スピン洗浄装置 [研究開発/少量生産]

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ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 1 - 2 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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