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半導体フォトマスク用レーザCVD欠陥修正装置 Pictor2323-Pictor2323
半導体フォトマスク用レーザCVD欠陥修正装置 Pictor2323-株式会社エイチ・ティー・エル

半導体フォトマスク用レーザCVD欠陥修正装置 Pictor2323
株式会社エイチ・ティー・エル



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この製品について

半導体用フォトマスクの白黒欠陥を高精度で修正する装置です。

■特長

・高精度で多彩な白黒欠陥修正が可能。 ・独自開発の光学系を使用。アパーチャビームによる高速大面積の欠陥修正とスポットビームによる微小欠陥の高精度修正を実現。 ・高安定・長寿命なFemto秒レーザとLD励起固体レーザ、高精度エアスライッダーステージを使用。高品位な修正エッジ品質にて修正精度: 25 nmを達成。 ・スルーペリクル対応 (ZAPのみ) ・フレキシブルなパタンコピー機能搭載 ・高精度カラー表示による画像モニター ・各種欠陥検査機通信インターフェイス、データフォーマットに対応

  • シリーズ

    半導体フォトマスク用レーザCVD欠陥修正装置 Pictor2323

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半導体フォトマスク用レーザCVD欠陥修正装置 Pictor2323 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 対応マスクパターン 対応マスクサイズ
半導体フォトマスク用レーザCVD欠陥修正装置 Pictor2323-品番-Pictor2323

Pictor2323

要見積もり

300 nm Line & Space

5インチ~9インチ

フィルターから探す

半導体製造装置をフィルターから探すことができます

ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 1 - 2 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社エイチ・ティー・エルは、半導体・液晶用関連装置を中心に、装置販売や装置用ソフトウエア開発を行う会社です。 1994年に東京都立川市で設立されました。プラズマ関連装置、光3Dプリンターなど各メーカー品の販売を行う...

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  • 本社所在地: 東京都

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