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プラズマCVD実験装置 PCVD-R100取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | プラズマ源 | 反応室 | ロードロック室 | 基板サイズ | 基板加熱機構 | 真空排気系 | ガス供給系 | 本体架台 | 用力 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
PCVD-R100 |
要見積もり |
RF ： 0~500W 可変＋自動マッチングBOX (誘導結合もしくは容量結合) |
SUS 304製 |
SUS 304製 |
~φ100 |
最高加熱温度 ： 900℃ |
ロードロック室 ： TMP＋RP |
MFC＋バルブ類 |
キャスター、アジャスター付き |
三相 AC200V 60A |
