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ダイヤモンド合成用MP-CVD装置 DCVD-301B/601B-DCVD-301B
ダイヤモンド合成用MP-CVD装置 DCVD-301B/601B-アリオス株式会社

ダイヤモンド合成用MP-CVD装置 DCVD-301B/601B
アリオス株式会社

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この製品について

■概要

本装置は、ダイヤモンド生産用のマイクロ波プラズマCVD装置です。当社独自のプラズマ技術を駆使し、大面積かつ高速成長を実現しました。生産機ニーズにお応えします。2インチまでの基板に対応し、ホモエピタキシャル成長とヘテロエピタキシャル成長が可能です。 高純度のダイヤモンド合成実験が可能な単結晶ダイヤモンド合成用CVD装置「DCVD151シリーズ」や、 ホットフィラメントCVD法を採用したダイヤモンド合成用HF-CVD装置「HFCVDシリーズ」もラインアップしています。

■特徴

・プラズマがチャンバー室壁に接触しない独自構造により、半導体グレードの単結晶高純度ダイヤモンド合成が可能 ・特殊ドーム形状チャンバー+特殊電極により、高効率な省電力運転と高速成長を実現 ・ビューポートから放電状態と基板を直接観察しながらの運用が可能 ・当社独自の自動圧力制御器 (APC) により、安定したプロセスを実現 ・2インチ基板1枚、または複数枚のダイヤモンド基板処理に対応

■オプション

・ガス系統追加 (最大7系統まで) ・自動制御 (レシピ運転) ・マイクロ波自動整合器 (DCVD-301B)

  • シリーズ

    ダイヤモンド合成用MP-CVD装置 DCVD-301B/601B

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ダイヤモンド合成用MP-CVD装置 DCVD-301B/601B 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 到達真空度 チャンバー材質/形状 チャンバー構成 排気系 圧力調整 真空計 制御方式 マイクロ波 マイクロ波給電方式 温度測定 ガス供給系 試料ホルダー サイズ 基板加熱方式 基板サイズ (最大) リーク量 本体架台 用力 電力 圧縮空気 プロセスガス
ダイヤモンド合成用MP-CVD装置 DCVD-301B/601B-品番-DCVD-301B

DCVD-301B

要見積もり

1×10^-1Pa以下

Al製 特殊ドーム型チャンバー

1チャンバー

メカニカルブースターポンプ+ドライポンプ+ターボ分子ポンプ

自動圧力制御器 (APC)

ピラニ真空計+フルレンジ真空計+隔膜真空計 (APC用)

タッチパネル (手動)

0~3kW連続可変 (2.45GHz) +手動整合器

アンテナ給電式 (試料ステージ兼用)

放射温度計

MFC5系統 (H2、CH4、N2、O2、Ar) 、最大7系統

φ27mm

プラズマ加熱:MAX1,200℃、内部水冷

□5mm×7個 or φ1インチ×1個

1.0×10^-8Pa・m^3/s以下 (Oリング透過分を除く)

キャスター、アジャスター付き (電源部を含む) 、重量約250kg

[本体]AC200V 三相 30A [チラー]AC200V 単相 15A ※DCVD-301B

0.5MPa

H2、CH4、N2、O2、Ar (1/4"Swagelok or 1/4"VCR)

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会社概要

アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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  • 本社所在地: 東京都
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