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半導体製造装置 太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S) -AMAX1000S
半導体製造装置 太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S) -株式会社渡辺商行

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結晶Si太陽電池セル量産用 NSG (SiO2) /PSG/BSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD (APCVD) 装置 AMAX1000Sは、「AMAX」シリーズの実績をもとに、太陽電池 (セル) 製造用に開発された連続式常圧CVD装置 (APCVD装置) です。

■基本情報

太陽電池の生産ニーズに合致した大量生産を可能にするために、大型ディスパージョンヘッド (ガスノズル) と超高速ダブルアーム搬送機構を搭載しています。また、太陽電池用薄ウェハ対応のため、特殊ウェハホルダー・ランプ加熱機構・多段ベルヌイチャック等を採用しました。

■特徴

・156mm角/125mm角ウェハ対応 ・1,500枚/hの高生産性 ・太陽電池用薄型ウェハ対応

■用途

・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜 (NSG) ・パッシベーション膜 (保護膜・絶縁膜) (NSG) ・固相拡散用ソース膜 (BSG,PSG) /キャップ膜 (NSG)

■納入実績

国内外太陽電池セルメーカー

  • シリーズ

    半導体製造装置 太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)

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半導体製造装置 太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 装置サイズ (mm) ガス種 成膜温度
半導体製造装置 太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S) -品番-AMAX1000S

AMAX1000S

要見積もり

1,860 (W) x 5,900 (D) x 2,100 (H)

SiH4/O2系 (SiH4/PH3/B2H6/O2/N2)

~430℃

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会社概要

株式会社渡辺商行は、輸出入の専門商社として1930年に創業しました。 その後、好不況の波を受けにくい体制を目指し、モノづくり商社として 1969年 トムコ設立、1971年 ワコム製作所設立、2008年 天谷製作所をグルー...

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  • 本社所在地: 東京都

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