半導体製造装置 太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S) -AMAX1000S
半導体製造装置 太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S) -株式会社渡辺商行

半導体製造装置 太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)
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結晶Si太陽電池セル量産用 NSG (SiO2) /PSG/BSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD (APCVD) 装置 AMAX1000Sは、「AMAX」シリーズの実績をもとに、太陽電池 (セル) 製造用に開発された連続式常圧CVD装置 (APCVD装置) です。

■基本情報

太陽電池の生産ニーズに合致した大量生産を可能にするために、大型ディスパージョンヘッド (ガスノズル) と超高速ダブルアーム搬送機構を搭載しています。また、太陽電池用薄ウェハ対応のため、特殊ウェハホルダー・ランプ加熱機構・多段ベルヌイチャック等を採用しました。

■特徴

・156mm角/125mm角ウェハ対応 ・1,500枚/hの高生産性 ・太陽電池用薄型ウェハ対応

■用途

・拡散/インプラ用ハードマスク, 犠牲膜 (NSG) ・パッシベーション膜 (保護膜・絶縁膜) (NSG) ・固相拡散用ソース膜 (BSG,PSG) /キャップ膜 (NSG)

■納入実績

国内外太陽電池セルメーカー

  • シリーズ

    半導体製造装置 太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)

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半導体製造装置 太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S) 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 装置サイズ (mm) ガス種 成膜温度
半導体製造装置 太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S) -品番-AMAX1000S

AMAX1000S

要見積もり 1,860 (W) x 5,900 (D) x 2,100 (H) SiH4/O2系 (SiH4/PH3/B2H6/O2/N2) ~430℃

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社渡辺商行は、輸出入の専門商社として1930年に創業しました。 その後、好不況の波を受けにくい体制を目指し、モノづくり商社として 1969年 トムコ設立、1971年 ワコム製作所設立、2008年 天谷製作所をグルー...

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  • 本社所在地: 東京都
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