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先進ピックアップ機能付超高精度ダイボンダ SPA-1000カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 品名 | ボンディング精度 | 精度 | 生産性 | チップサイズ | ウエハサイズ | 基板 リードフレーム サイズ | 駆動源 入力電源 | 駆動源 消費電力 | 駆動源 エアー | 駆動源 真空 | 装置寸法 | 質量 | オプション |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
SPA-1000 |
要見積もり |
ダイボンダ |
DAF接合方式 |
XY:±5μm (3σ) θ:±0.05° (3σ) (部材起因を除くマシン精度) |
従来機に比べ2.5倍の能力 (当社サンプルでの理論値) |
0.8~25mm |
最大12インチ |
・幅 40~120mm |
単相 AC200V±5％ 50/60Hz (異なる電圧は、ご相談下さい) |
最大3.2kVA (3.2kW) |
500kPa (5kgf/cm2) 900L/min |
-74kPa (-550mmHg) 以下 (ゲージ圧) |
・W 2,280mm |
約2,300kg (モニタ、表示灯は含まない) |
・薄ダイ対応キット |
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