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シリーズ
真空 プラズマエッチャー CPE-Bシリーズ取扱企業
株式会社魁半導体カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 外形寸法 | ステージ寸法 | 処理圧力調整 | 真空計 | ガス系統 | 電源 | 備考 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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CPE-100B |
要見積もり |
392mm (W) ×500mm (D) ×1,050mm (H) (突起含まず。上蓋閉時) 、850mm (W) ×900mm (D) ×1,050mm (H) (突起含まず。上蓋閉時) |
直径100mm, 直径400mm |
手動排気バルブおよびガス導入量による手動調整 |
アナログ表示ピラニ真空計 |
1系統 |
単相100V,15A (50Hz/60Hz) 型式 CPE-400B、単相100V,30A (50Hz/60Hz) |
- | |
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CPE-1000B |
要見積もり |
1,600mm (W) ×1.600mm (D) ×1,100mm (H) (突起含まず。上蓋閉時) |
直径1,000mm |
手動排気バルブおよびガス導入量による手動調整 |
アナログ表示ピラニ真空計 |
1系統 |
単相200V,30A (50Hz/60Hz) |
※真空ポンプは別売です。また、別途、仕様変更も承っております。 |
