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プラズマエッチング装置の製品34点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 外形寸法 | 放電部寸法 | 出力調整 | ガス系統 | ガス制御方法 | 圧力調整 | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
CPEシリーズ |
要見積もり |
510mm (W) ×760mm (D) ×1,090mm (H) |
直径200mm (円形) |
あり |
1系統 (2系統はオプション) |
マスフローコントローラー |
バルブ |
電源 AC100V,15A (50Hz/60Hz) |
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使用用途: 半導体製造
プラズマエッチング装置をフィルターから探すことができます
