真空プラズマエッチャー CPEシリーズ
株式会社魁半導体

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この製品について

SiO2やSiのエッチングなど。半導体集積回路などの微細回路を作製。

■製品概要・コンパクト
・簡単な操作性
・タッチパネル操作  (オート、マニュアル)  

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商品画像	品番	価格 (税抜)	外形寸法	放電部寸法	出力調整	ガス系統	ガス制御方法	圧力調整	電源
	CPEシリーズ	要見積もり	510mm (W) ×760mm (D) ×1,090mm (H)	直径200mm (円形)	あり	1系統 (2系統はオプション)	マスフローコントローラー	バルブ	電源 AC100V,15A (50Hz/60Hz)