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真空 プラズマエッチャー CPEシリーズ-CPEシリーズ
真空 プラズマエッチャー CPEシリーズ-株式会社魁半導体

真空 プラズマエッチャー CPEシリーズ
株式会社魁半導体

株式会社魁半導体の対応状況

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この製品について

SiO2やSiのエッチングなど。半導体集積回路などの微細回路を作製。

■製品概要

・コンパクト ・簡単な操作性 ・タッチパネル操作 (オート、マニュアル)

  • シリーズ

    真空 プラズマエッチャー CPEシリーズ

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真空 プラズマエッチャー CPEシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 外形寸法 放電部寸法 出力調整 ガス系統 ガス制御方法 圧力調整 電源
真空 プラズマエッチャー CPEシリーズ-品番-CPEシリーズ

CPEシリーズ

要見積もり

510mm (W) ×760mm (D) ×1,090mm (H)...

直径200mm (円形)

あり

1系統 (2系統はオプション)

マスフローコントローラー

バルブ

電源 AC100V,15A (50Hz/60Hz)

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社魁半導体は、プラズマによる材質の表面処理や洗浄などを用いた各種半導体製造装置を開発・製造・販売するメーカーです。 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャーとして学内で創業し、2007年に株式会社魁半導体を設立し...

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  • 本社所在地: 京都府
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