真空プラズマエッチャーセミオートシリーズ CPE-Sシリーズ-CPE-Sシリーズ

真空プラズマエッチャーセミオートシリーズ CPE-Sシリーズ
株式会社魁半導体

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この製品について

PTFE   (テフロン)  の親水化。各種素材の撥水処理。ガラス膜の形成。など

■製品概要・プラズマ装置CPEシリーズにお手頃価格のセミオートシリーズが新登場。
・マニュアル操作に加え、タッチパネルによる簡単操作ができるほか、レシピを事前に登録しておくことで、ボタンを押すだけのセミオート運転が可能
・φ300mmの大面積  (サイズ変更も承ります)  

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
真空プラズマエッチャーセミオートシリーズ CPE-Sシリーズ

取扱企業
株式会社魁半導体

カテゴリ

加工・工作機器

プラズマエッチング装置

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真空プラズマエッチャーセミオートシリーズ CPE-Sシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	外形寸法	放電部寸法	重量	出力調整	ガス系統	ガス制御方法	圧力調整	電源
	CPE-Sシリーズ	要見積もり	680mm (W) ×785mm (D) ×1,020mm (H)	直径300mm (円形)	160	あり	1系統 (2系統はオプション)	マスフローコントローラー	バルブ	AC100V,30A (50Hz/60Hz)