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真空 プラズマエッチャーセミオートシリーズ CPE-Sシリーズ-CPE-Sシリーズ
真空 プラズマエッチャーセミオートシリーズ CPE-Sシリーズ-株式会社魁半導体

真空 プラズマエッチャーセミオートシリーズ CPE-Sシリーズ
株式会社魁半導体

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この製品について

PTFE (テフロン) の親水化。各種素材の撥水処理。ガラス膜の形成。など

■製品概要

・プラズマ装置CPEシリーズにお手頃価格のセミオートシリーズが新登場。 ・マニュアル操作に加え、タッチパネルによる簡単操作ができるほか、レシピを事前に登録しておくことで、ボタンを押すだけのセミオート運転が可能 ・φ300mmの大面積 (サイズ変更も承ります)

  • シリーズ

    真空 プラズマエッチャーセミオートシリーズ CPE-Sシリーズ

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真空 プラズマエッチャーセミオートシリーズ CPE-Sシリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 外形寸法 放電部寸法 重量 出力調整 ガス系統 ガス制御方法 圧力調整 電源
真空 プラズマエッチャーセミオートシリーズ CPE-Sシリーズ-品番-CPE-Sシリーズ

CPE-Sシリーズ

要見積もり

680mm (W) ×785mm (D) ×1,020mm (H)

直径300mm (円形)

160

あり

1系統 (2系統はオプション)

マスフローコントローラー

バルブ

AC100V,30A (50Hz/60Hz)

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

株式会社魁半導体は、プラズマによる材質の表面処理や洗浄などを用いた各種半導体製造装置を開発・製造・販売するメーカーです。 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャーとして学内で創業し、2007年に株式会社魁半導体を設立し...

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  • 本社所在地: 京都府
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