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シリーズ
真空 プラズマエッチャーセミオートシリーズ CPE-Sシリーズ取扱企業
株式会社魁半導体カテゴリ
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 外形寸法 | 放電部寸法 | 重量 | 出力調整 | ガス系統 | ガス制御方法 | 圧力調整 | 電源 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
CPE-Sシリーズ |
要見積もり |
680mm (W) ×785mm (D) ×1,020mm (H) |
直径300mm (円形) |
160 |
あり |
1系統 (2系統はオプション) |
マスフローコントローラー |
バルブ |
AC100V,30A (50Hz/60Hz) |
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電源 V
単相200V 30A AC100V 30A AC100V 15A 単相100V 15A 単相100V 30A 200V 単相 20Aガス系統 系統
1系統 2系統 3系統ステージ寸法 mm
200mm 100mm 1000mm処理圧力調整
バルブ 手動調整 APC制御真空計
ピラニ真空計 ターボ分子ポンプ ロータリーポンプ WRG
