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FPDフォトマスク用レーザCVD欠陥修正装置 Sculptor-株式会社エイチ・ティー・エル

全型番で同じ値の指標

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G10 (カスタマイズ可)

この製品について

■特長

・高精度で白黒欠陥やハーフトーン欠陥等の多彩な修正が可能 ・独自開発の光学系を使用。アパーチャビームによる高速大面積の欠陥修正とスポットビームによる微小欠陥の高精度修正を実現 ・スキャンニングビームによるフレキシブルなパタンコピー機能搭載 ・スルーペリクル対応 (ZAPのみ) ・高安定・長寿命なFemto秒レーザ、LD励起固体レーザを使用し安定した欠陥修正

  • 型番

    Sculptor

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FPDフォトマスク用レーザCVD欠陥修正装置 Sculptor Sculptorの性能表

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FPDフォトマスク用レーザCVD欠陥修正装置 Sculptor-品番-Sculptor 要見積もり G10 (カスタマイズ可)

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使用用途

#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測

ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 1 - 2 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社エイチ・ティー・エルは、半導体・液晶用関連装置を中心に、装置販売や装置用ソフトウエア開発を行う会社です。 1994年に東京都立川市で設立されました。プラズマ関連装置、光3Dプリンターなど各メーカー品の販売を行う...

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  • 本社所在地: 東京都

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