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処理方式
平行平板プラズマ励起方式 (DP/RIE切替可)
処理室
アルミニウム (A5052) 製
ステージ段数
標準3ステージ (オプション 増設1ステージ対応可)
チャンバー寸法
幅500×奥580×高500mm
ステージ寸法
幅340×奥420mm
RF電源
600W 13.56MHz オートチューニング
処理ガス
O2、Ar (オプション 1ライン増設可) マスフローコントローラによる流量制御
パージガス
N2 (スローライン有)
処理ステップ
10レシピ (3ステップ)
真空ポンプ
ロータリーポンプ 1,300L/min
本体寸法
幅880×奥880×高1,600mm
本体重量
約400kg
型番
PT-655S取扱企業
株式会社エスクラフトカテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 処理方式 | 処理室 | ステージ段数 | チャンバー寸法 | ステージ寸法 | RF電源 | 処理ガス | パージガス | 処理ステップ | 真空ポンプ | 本体寸法 | 本体重量 |
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要見積もり | 平行平板プラズマ励起方式 (DP/RIE切替可) | アルミニウム (A5052) 製 | 標準3ステージ (オプション 増設1ステージ対応可) | 幅500×奥580×高500mm | 幅340×奥420mm |
600W 13.56MHz オートチューニング |
O2、Ar (オプション 1ライン増設可) マスフローコントローラによる流量制御 |
N2 (スローライン有) | 10レシピ (3ステップ) | ロータリーポンプ 1,300L/min | 幅880×奥880×高1,600mm | 約400kg |
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