LS120A C仕様 | スクリュー型ドライ真空ポンプ LS
株式会社アルバック

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最大排気速度 (m3/h)

120

到達圧力 (Pa)

≦0.6

電源電圧

200V級:3相、50/60Hz、AC200-240V または400V級:3相、50/60Hz、AC380-480V

消費電力概略値 (kW)

0.6

冷却水量 (L/min)

>2.0

騒音値 (dB (A) )

吸気口

KF (水平) /VG50 (垂直)

排気口

KF40

質量 (kg)

142

適合規格

CE、cTUVus

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この製品について

LSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来、排気速度を大きくする為には多くの電力を消費していましたが、独自開発のスクリュー形状と省電力技術の融合により、高速排気と低消費電力の両立を実現したドライ真空ポンプです。 4機種をラインアップし、装置の大きさや使用条件、用途に合わせて最適な排気容量のポンプを選択できます。

■特長・大気圧付近の排気速度は最大80m3/hあり、従来の真空ポンプよりも排気時間が約20％短縮できます。
・標準搭載されている専用サイレンサーがドライ真空ポンプ特有の騒音問題も解消します。到達圧力時の騒音値は61dB (A) 以下で、運転中にも気にならないレベルになっています。
・C仕様に標準搭載されたECO-SHOCK技術は省電力の為のアルバック独自技術です。到達圧力時の消費電力を到達圧力時の消費電力は0.6kW以下まで低減できます。
・LSシリーズは軸シールガスが不要です。窒素や空気などの排気を主とするクリーンプロセスにおいてランニングコストが低減出来ます。
・更に排気速度を高めたい方に、メカニカルブースターポンプを組み合わせていただくことをお勧めしています。組み合わせる事で120～1200m3/hに到達可能です。

用途
■C仕様:クリーンプロセス・特徴:ECO-SHOCK内蔵の低消費電力タイプ
・用途:エアー排気やN2排気等のクリーン排気向け、スパッタリング/蒸着/貼り合せ/ロードロック室/TMP補助など

■L仕様:ライトプロセス・特徴:表面処理、パージ機能を擁するライトプロセスタイプ
・用途:水蒸気や揮発性薬液排気等のライトプロセス向け、真空乾燥/凍結乾燥/アッシング/一般産業用途など

■標準付属品取扱説明書 (CD-R) 、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード

■本体オプション電圧仕様:200V級または400V級、シール部材質:パーフロロエラストマー (Lタイプのみ) 

■外部オプション        MBP吸気口変換フランジ、筐体排気ポート、耐震固定金具、LR互換ユニット (吸気口、信号) 、パージガスバルブ

型番
LS120A C仕様

シリーズ
スクリュー型ドライ真空ポンプ LS

取扱企業
株式会社アルバック

カテゴリ

ポンプ

真空ポンプ

ポンプ

スクリューポンプ

ポンプ

ドライポンプ

ジェネレータ・発生器

真空発生器

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スクリュー型ドライ真空ポンプ LS LS120A C仕様の性能表

商品画像	価格 (税抜)	最大排気速度 (m3/h)	到達圧力 (Pa)	電源電圧	消費電力概略値 (kW)	冷却水量 (L/min)	騒音値 (dB (A) )	吸気口	排気口	質量 (kg)	適合規格
	要見積もり	120	≦0.6	200V級:3相、50/60Hz、AC200-240V または400V級:3相、50/60Hz、AC380-480V	0.6	>2.0	61	KF (水平) /VG50 (垂直)	KF40	142	CE、cTUVus