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真空 プラズマエッチャー CPE-Bシリーズ-株式会社魁半導体

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処理圧力調整

手動排気バルブおよびガス導入量による手動調整

真空計

アナログ表示ピラニ真空計

ガス系統

1系統

備考

※真空ポンプは別売です。また、別途、仕様変更も承っております。

この製品について

テフロン表面の親水化や不織布の撥水化など。

■用途

・PTFE (テフロン) の親水化 (要NH3) ・各種素材の撥水処理 (要CF4) ・シリコン膜 (基板) のエッチング処理 (要CF4) ・ガラス膜 (基板) の形成 (要バブラー) ・細胞培養容器への処理〈特徴〉 ・制御条件を全てマニュアル操作仕様 →プラズマ装置の扱いに慣れた研究者には打って付け ・生産現場での製造工程に組み込み可能 →既存の設備と合わせての使用が可能となる為、コストや時間、製造効率もUP ・シンプルで導入コストを抑えた価格帯 →企業努力により低価格化した製品販売を実現

  • 型番

    CPE-1000B

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真空 プラズマエッチャー CPE-Bシリーズ CPE-1000Bの性能表

商品画像 価格 (税抜) 外形寸法 ステージ寸法 処理圧力調整 真空計 ガス系統 電源 備考
真空 プラズマエッチャー CPE-Bシリーズ-品番-CPE-1000B 要見積もり 1,600mm (W) ×1.600mm (D) ×1,100mm (H) (突起含まず。上蓋閉時) 直径1,000mm 手動排気バルブおよびガス導入量による手動調整 アナログ表示ピラニ真空計 1系統 単相200V,30A (50Hz/60Hz) ※真空ポンプは別売です。また、別途、仕様変更も承っております。

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真空計

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この商品の取り扱い会社情報

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返答時間

61.2時間

会社概要

株式会社魁半導体は、プラズマによる材質の表面処理や洗浄などを用いた各種半導体製造装置を開発・製造・販売するメーカーです。 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャーとして学内で創業し、2007年に株式会社魁半導体を設立し...

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  • 本社所在地: 京都府

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