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外形寸法
ステージ寸法
処理圧力調整
手動排気バルブおよびガス導入量による手動調整
真空計
アナログ表示ピラニ真空計
ガス系統
1系統
備考
※真空ポンプは別売です。また、別途、仕様変更も承っております。
型番
CPE-1000B取扱企業
株式会社魁半導体カテゴリ
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プラズマエッチング装置の製品32点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 外形寸法 | ステージ寸法 | 処理圧力調整 | 真空計 | ガス系統 | 電源 | 備考 |
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要見積もり | 1,600mm (W) ×1.600mm (D) ×1,100mm (H) (突起含まず。上蓋閉時) | 直径1,000mm | 手動排気バルブおよびガス導入量による手動調整 | アナログ表示ピラニ真空計 | 1系統 | 単相200V,30A (50Hz/60Hz) | ※真空ポンプは別売です。また、別途、仕様変更も承っております。 |
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