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真空 プラズマエッチャー CPEシリーズ-株式会社魁半導体

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外形寸法

510mm (W) ×760mm (D) ×1,090mm (H)

放電部寸法

直径200mm (円形)

出力調整

あり

ガス系統

1系統 (2系統はオプション)

ガス制御方法

マスフローコントローラー

圧力調整

バルブ

電源

電源 AC100V,15A (50Hz/60Hz)

この製品について

SiO2やSiのエッチングなど。半導体集積回路などの微細回路を作製。

■製品概要

・コンパクト ・簡単な操作性 ・タッチパネル操作 (オート、マニュアル)

  • 型番

    CPEシリーズ

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真空 プラズマエッチャー CPEシリーズ CPEシリーズの性能表

商品画像 価格 (税抜) 外形寸法 放電部寸法 出力調整 ガス系統 ガス制御方法 圧力調整 電源
真空 プラズマエッチャー CPEシリーズ-品番-CPEシリーズ 要見積もり 510mm (W) ×760mm (D) ×1,090mm (H) 直径200mm (円形) あり 1系統 (2系統はオプション) マスフローコントローラー バルブ 電源 AC100V,15A (50Hz/60Hz)

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使用用途

#半導体製造 #MEMS製造 #ディスプレイ製造 #LED製造 #パワーデバイス製造 #センサー製造 #微細加工 #ナノインプリント #研究開発 #バイオチップ製造

処理圧力調整

バルブ 手動調整 APC制御

真空計

ピラニ真空計 ターボ分子ポンプ ロータリーポンプ WRG

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この商品の取り扱い会社情報

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48.8時間

会社概要

株式会社魁半導体は、プラズマによる材質の表面処理や洗浄などを用いた各種半導体製造装置を開発・製造・販売するメーカーです。 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャーとして学内で創業し、2007年に株式会社魁半導体を設立し...

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  • 本社所在地: 京都府
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