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返答率
100.0%
返答時間
48.8時間
外形寸法
510mm (W) ×760mm (D) ×1,090mm (H)
放電部寸法
直径200mm (円形)
出力調整
あり
ガス系統
1系統 (2系統はオプション)
ガス制御方法
マスフローコントローラー
圧力調整
バルブ
電源
電源 AC100V,15A (50Hz/60Hz)
型番
CPEシリーズシリーズ
真空 プラズマエッチャー CPEシリーズ取扱企業
株式会社魁半導体カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 外形寸法 | 放電部寸法 | 出力調整 | ガス系統 | ガス制御方法 | 圧力調整 | 電源 |
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要見積もり | 510mm (W) ×760mm (D) ×1,090mm (H) | 直径200mm (円形) | あり | 1系統 (2系統はオプション) | マスフローコントローラー | バルブ | 電源 AC100V,15A (50Hz/60Hz) |
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