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最大流量レンジ (N2換算)
100CCM,500CCM,5LM
バルブ動作
ノーマリオープン、ノーマリクローズ
最小制御流量
最大値の2%
バルブ開度設定入力
0~5VDC
応答時間
0.5秒以下
必要差圧
50~300kPa
最大動作圧
300kPa (G)
耐圧
1MPa (G)
使用保証温度
0~50℃･0~80%RH
外部リークレート
1×10-11Pa･m3/sec He
接ガス部材質
SUS316L,PCTFE,Au
シール材
Au
所要電源
+15VDC±3% 50mA, -15VDC±3% 50mA
取付可能姿勢
自由
バルブ方式
ピエゾアクチュエータ
重量
700g
型番
CV-3102取扱企業
株式会社リンテックカテゴリ
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マスフローコントローラの製品121点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 最大流量レンジ (N2換算) | バルブ動作 | 最小制御流量 | バルブ開度設定入力 | 応答時間 | 必要差圧 | 最大動作圧 | 耐圧 | 使用保証温度 | 外部リークレート | 接ガス部材質 | シール材 | 所要電源 | 取付可能姿勢 | バルブ方式 | 重量 |
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要見積もり | 100CCM,500CCM,5LM | ノーマリオープン、ノーマリクローズ | 最大値の2% | 0~5VDC | 0.5秒以下 | 50~300kPa | 300kPa (G) | 1MPa (G) | 0~50℃･0~80%RH | 1×10-11Pa･m3/sec He | SUS316L,PCTFE,Au | Au | +15VDC±3% 50mA, -15VDC±3% 50mA | 自由 | ピエゾアクチュエータ | 700g |
マスフローコントローラの中でこの商品と同じ値をもつ製品
制御方式が閉ループ制御型の製品
FCST1005 (M) F / FCST1005 (M) FD | デジタルマスフローコントローラー
エフコン株式会社
1850人以上が見ています
返答時間: 15.63時間
マスフローコントローラ
FCST1030 (M) F / FCST1030 (M) FD | デジタルマスフローコントローラー
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マスフローコントローラマスフローコントローラをフィルターから探すことができます
使用用途
#半導体製造 #医薬品製造 #食品加工 #燃料電池 #分析機器 #研究開発 #表面処理 #ガス混合制御方式
閉ループ制御型 開ループ制御型 デジタル制御型 アナログ制御型測定原理
熱式 コリオリ式 差圧式 超音波式流体種類対応
気体用 液体用 高純度流体用出力信号形式
アナログ出力型 デジタル出力型制御流量範囲 %F.S
2 - 5 5 - 100流量精度 %F.S
0 - 1 1 - 2 2 - 5使用保証温度 ℃
-10 - 0 0 - 50 50 - 60供給電源電圧消費電流 mA
25 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 350耐圧力 MPa(G)
0 - 1 1 - 4 4 - 1,000
