C50M | パイロットモジュールマスフローコントローラー SmartTrakシリーズ
エフコン株式会社
価格 (税抜)
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アクチュエータ方式
シール部材質
バルブタイプ
使用可能温度範囲
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圧力影響
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応答性
接ガス部材質
接続継手
流量レンジ
流量精度
温度影響
耐圧
設定/出力信号
駆動電源(MFC)
駆動電源(MFM)
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型番
C50M
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取扱企業
エフコン株式会社
マスフローコントローラ注目ランキング
マスフローコントローラの製品67点中、注目ランキング上位6点
パイロットモジュールマスフローコントローラー SmartTrakシリーズ C50Mの性能表
| 商品画像 | 価格 (税抜) | アクチュエータ方式 | シール部材質 | バルブタイプ | 使用可能温度範囲 | 再現性 | 制御流量範囲 | 圧力影響 | 外部リーク | 応答性 | 接ガス部材質 | 接続継手 | 流量レンジ | 流量精度 | 温度影響 | 耐圧 | 設定/出力信号 | 駆動電源(MFC) |
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要見積もり | ソレノイドバルブ(メーターの場合は対象外) | バイトン | NC：ノーマルクローズ | 0~50℃ | ±0.25％F.S | 2~100％F.S | ±0.0015％/kPaF.S | 5×10-10Pa･m3/secHe | 2sec(設定値の±2％以内) | SUS316Lorアルミ選択、バイトン | 1/4SWL、1/4VCO、1/4VCR、6mmSWLなど | 50~200SLPM | ±1.0％F.S | ±0.05％/℃F.S | 1MPa(G) | RS232or0~5VDC+RS232or4~20mA+RS232orRS485選択 | 24VDC±10％850mARS485：130mA |
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