CUBE MFC 1005 / 1020 / 1030 / 1050 / 1100 | マスフローコントローラー
エフコン株式会社
価格 (税抜)
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アクチュエータ方式
シール部材質
バルブタイプ
使用保証温度
供給電源電圧、消費電流
再現性
制御流量範囲
取付姿勢
外部リーク
対応ガス種
必要差圧
応答時間
接ガス部材質
接続継手
流量(N2換算流量)
流量出力
流量精度
流量設定(メーターの場合は対象外)
耐圧力
表面処理
通信方式
ガス種
付属品
流量設定
流量設定・出力信号/表示
電源、消費電流
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型番
CUBE MFC 1005 / 1020 / 1030 / 1050 / 1100
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シリーズ
マスフローコントローラー
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取扱企業
エフコン株式会社
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マスフローコントローラー CUBE MFC 1005 / 1020 / 1030 / 1050 / 1100の性能表
| 商品画像 | 価格 (税抜) | アクチュエータ方式 | ガス種 | シール部材質 | バルブタイプ | 付属品 | 使用保証温度 | 再現性 | 制御流量範囲 | 外部リーク | 必要差圧 | 応答時間 | 接ガス部材質 | 接続継手 | 流量(N2換算流量) | 流量精度 | 流量設定 | 流量設定・出力信号/表示 | 耐圧力 | 表面処理 | 通信方式 | 電源、消費電流 |
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要見積もり | サーマル(メーターの場合は対象外) | 搭載MFC/MFMに準ずる | フッ素ゴム | NO：ノーマルオープン、newNC：ノーマルクローズ(メーターの場合は対象外) | ACケーブル、取扱説明書 | 5~50℃(精度保証範囲：15~35℃)、85％RH以下(結露なきこと) | ±0.2％F.S | 5~100％F.S(メーターの場合は対象外) | 1×10-7Pa･m3/secHe | 搭載MFCに準ずる | 搭載MFCに準ずる | SUS316L、PTFE、フッ素ゴム | 1/4in.SWL(相当品)、ワンタッチ継手、その他の継手形状についてはご相談下さい。 | 10SCCM~100SLM(搭載MFC/MFMに準ずる) | ±2％F.S[※±1％F.S対応可](精度保証範囲15~35℃)詳細はお問い合わせ下さい | 0.25~5VDC、10回転ポテンションメーターにて可変(メーターの場合は対象外) | 0~5VDC/DP表示：スケーリング表示(トグルスイッチにて設定・出力表示切替、背面設定・出力モニター端子連動) | 1MPa(G) | 機械加工仕上げ | アナログ：0~5VDC | AC100~240V：500mA |
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