IEシリーズ | 薄膜・表面改質技術＆装置イオンエッチング装置 IEシリーズ
新明和工業株式会社

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返答率

100.0%

返答時間

160.0時間

全型番で同じ値の指標

サイズ

W 2,300mm×D 1,400mm×H 2,350mm

質量

約 1,600kg

使用ガス

Ar, O2

イオンガン

4, 6, 8基

最大消費電力

19-31kVA

炭素系

ダイヤモンドコート, DLC

窒化物系

TiN, TiAlN, AlN, AlCrN, TiCrN, CrN etc.

金属系

Si, Cr etc.

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この製品について

■イオンエッチング装置とはイオンエッチングとはイオン化された原子を対象物に衝突させ、物理的に削る技術の一つです。当社では独自のイオンエッチング技術を用いて、切削工具や金型、各種部品向けに除膜装置を開発しました。除膜とは基材上のコーティングを剥がすことを指し、除膜することにより、基材の再利用が可能になります。

除膜には化学薬品を用いる手法もありますが、除膜する膜種により薬液が異なることや基材へダメージを与えるなどの問題があります。超硬合金基材に使用する場合、成分であるコバルト (Co) を薬品が溶かし出し、表面を荒らすことから再利用が困難とされていました。

当社のイオンエッチング装置は、化学薬品に代わる新たな除膜方法として有効です。化学薬品を使用しないドライな環境下での処理により、超硬基材に含まれるコバルト (Co) 溶出がなく、基材表面へのダメージは最小限に抑えられるメリット以外に環境負荷と人にも優しい処理が可能です。用途は「除膜」だけでなく、「微細バリの除去」や「先端形状の修正 (先鋭化) 」へも可能です。

■メリット除膜により基材を再利用できることで、基材費用および加工費など、コストを削減することができます。成膜装置を所有するお客様の場合、バッチ不良時のリカバリとしてご使用いただけます。化学薬品を使用しないため、廃液処理などが必要なく、クリーンな環境を提供いたします。

■イオンエッチング装置について装置として多品種少量向けに小回りの利く利便性を追求したコンパクト型と標準型をラインアップしております。お客様の要望や対象物、生産性を考慮し、最適な装置をご提案させていただきます。

■応用例超硬基材上のコーティング工具
・超硬素材にダメージを与えることなく、コーティングの除膜が可能です。
・除膜後も形状や鋭利な刃先を維持できます。
・超硬基材以外の材料にも応用が可能です。

型番
IEシリーズ

シリーズ
薄膜・表面改質技術＆装置イオンエッチング装置 IEシリーズ

取扱企業
新明和工業株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

エッチング装置

加工・工作機器

プラズマエッチング装置

加工・工作機器

表面改質装置

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薄膜・表面改質技術＆装置イオンエッチング装置 IEシリーズ IEシリーズの性能表

商品画像	価格 (税抜)	サイズ	質量	使用ガス	イオンガン	最大消費電力	炭素系	窒化物系	金属系
	要見積もり	W 2,300mm×D 1,400mm×H 2,350mm	約 1,600kg	Ar, O2	4, 6, 8基	19-31kVA	ダイヤモンドコート, DLC	TiN, TiAlN, AlN, AlCrN, TiCrN, CrN etc.	Si, Cr etc.