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より高いガス置換特性 インライン・ガスフィルター CEPURE-株式会社渡辺商行

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材料

アルミナ多孔体 (エレメント部) /SUS/ニッケル/PTFE

この製品について

圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性等ガスフィルターに求められる特性面も優れています。高純度アルミナを使用。 クアーズテック社のインライン・ガスフィルター『CEPURE®』に採用したエレメントは、耐食性に優れた99.9%以上の高純度アルミナで、均一にコントロールされた2層もしくは3層からなる微細な細孔を有しています。幾何学的に圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性などガスフィルターに求められる特性面においても非常に優れており、理想的なフィルターメディアです。

■基本情報

クアーズテック株式会社は、1988年CEPURE®インライン・ガスフィルターの販売開始以来、一貫して半導体製造装置用ガスラインの高純度化、高清浄化に取り組んできました。第一世代としては六角マルチチャンネルタイプのエレメントを採用した「Mシリーズ」を、そして1992年には第二世代として除粒子性能を維持しつつ、ガス置換特性を向上させた「TMシリーズ」を市場に送りだしました。 現在、CEPURE®シリーズは、より高いガス置換特性を追及し、かつ一段とコンパクト化を図った第三世代の「STMシリーズ」に進化しており、ユーザーの皆様から高い評価を得ています。また、近年、半導体製造装置業界で主流となりつつある集積型ガスパネルに対応すると同時に、多様化するユーザーニーズに対応すべく、各種フィルター応用製品の開発を進めています。

■特徴

・優れたガス置換特性 ・高耐食性

■用途

各種半導体プロセス用インラインガスフィルター

  • 型番

    CEPURE

企業レビュー 4.5

Metoree経由で見積もり

2025年8月1日にレビュー済み

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より高いガス置換特性 インライン・ガスフィルター CEPURE CEPUREの性能表

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より高いガス置換特性 インライン・ガスフィルター CEPURE-品番-CEPURE 要見積もり アルミナ多孔体 (エレメント部) /SUS/ニッケル/PTFE

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使用用途

#成膜 #エッチング #洗浄 #アッシング #イオン注入 #検査 #搬送 #アライメント #パターニング #組立 #封止 #計測

工程分類

成膜装置 リソグラフィ装置 エッチング装置

搬送方式

バッチ式 シングル式 クラスター式 真空搬送式

成膜方式

化学気相成長型 物理気相成長型 スピンコート型

ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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この商品の取り扱い会社情報

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企業レビュー

4.5

会社概要

株式会社渡辺商行は、輸出入の専門商社として1930年に創業しました。 その後、好不況の波を受けにくい体制を目指し、モノづくり商社として 1969年 トムコ設立、1971年 ワコム製作所設立、2008年 天谷製作所をグルー...

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  • 本社所在地: 東京都

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