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返答率
100.0%
返答時間
34.2時間
装置サイズ (mm)
2,165 (W) x 4,788 (D) x 2,250 (H)
ガス種
SiH4/O2系 (SiH4/PH3/B2H6/O2/N2)
成膜温度
350~430℃
型番
AMAX1200取扱企業
株式会社渡辺商行カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 装置サイズ (mm) | ガス種 | 成膜温度 |
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要見積もり | 2,165 (W) x 4,788 (D) x 2,250 (H) | SiH4/O2系 (SiH4/PH3/B2H6/O2/N2) | 350~430℃ |
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