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返答率
100.0%
返答時間
385.4時間
装置構成
カセット室/オートローダー 搬送室 エッチング室 予備加熱室 (オプション) 前後処理室 (オプション)
処理可能基板サイズ
6・8インチ
膜種
強誘電・高誘電材料、磁性材料、電極材料など
面内均一性
±5%以下
プラズマソース
ISM (有磁場ICP)
基板電極温度
~400℃±5℃
デポジション対策
ファラーデーシールド機構/天板加熱機構/防着板加熱機構等
プロセスレシピ編集方式
マルチステップ方式
型番
ULHITETM NE-7800H取扱企業
アルバック販売株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 装置構成 | 処理可能基板サイズ | 膜種 | 面内均一性 | プラズマソース | 基板電極温度 | デポジション対策 | プロセスレシピ編集方式 |
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要見積もり |
カセット室/オートローダー 搬送室 エッチング室 予備加熱室 (オプション) 前後処理室 (オプション) |
6・8インチ | 強誘電・高誘電材料、磁性材料、電極材料など | ±5%以下 | ISM (有磁場ICP) | ~400℃±5℃ | ファラーデーシールド機構/天板加熱機構/防着板加熱機構等 | マルチステップ方式 |
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