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有機セル
4式 (電源コントロール付)
金属セル
4式 (電源コントロール付)
基盤サイズ
1~3インチ (最大8枚導入可能)
排気ポンプ
TMP (63L/sec) :1台 TMP (300L/sec) :2台 RP (150L/sec) :3台
真空計
3式
膜厚計
2式
シャッター
基盤側シャッター1式
パージバルブ
1式
300℃基盤加熱ヒーター
1式 (電源コントロール付)
型番
OED R&D SystemⅠ取扱企業
北野精機株式会社カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 有機セル | 金属セル | 基盤サイズ | 排気ポンプ | 真空計 | 膜厚計 | シャッター | パージバルブ | 300℃基盤加熱ヒーター |
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要見積もり | 4式 (電源コントロール付) | 4式 (電源コントロール付) | 1~3インチ (最大8枚導入可能) |
TMP (63L/sec) :1台 TMP (300L/sec) :2台 RP (150L/sec) :3台 |
3式 | 2式 | 基盤側シャッター1式 | 1式 | 1式 (電源コントロール付) |
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