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エッチング速度 (μm/min)
Bosch:高速 Cryogenic:中間 混合ガス:低速
フォトレジスト選択性
Bosch:非常に高い Cryogenic:高い 混合ガス:低い
プロファイル
Bosch:垂直 Cryogenic:垂直または傾斜 混合ガス:垂直または傾斜
アスペクト比
Bosch:非常に高い Cryogenic:高い 混合ガス:低い
側壁
Bosch:粗い Cryogenic:平滑 混合ガス:平滑
ARDE (アスペクト比依存エッチング) 制御
Bosch:対応 Cryogenic:限定的 混合ガス:限定的
クリーニング
Bosch:通常 Cryogenic:ほぼ不要 混合ガス:通常
最小 エッチング速度 /nm
Bosch:≈ 300 Cryogenic:≈ 10 混合ガス:30
型番
PlasmaPro 100 Estrelas DRIEカテゴリ
Metoree経由で見積もり
2025年3月25日にレビュー済み
顧客対応への満足度
初回対応までの時間への満足度
22.17時間
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エッチング装置の製品45点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | エッチング速度 (μm/min) | フォトレジスト選択性 | プロファイル | アスペクト比 | 側壁 | ARDE (アスペクト比依存エッチング) 制御 | クリーニング | 最小 エッチング速度 /nm |
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要見積もり |
Bosch:高速 Cryogenic:中間 混合ガス:低速 |
Bosch:非常に高い Cryogenic:高い 混合ガス:低い |
Bosch:垂直 Cryogenic:垂直または傾斜 混合ガス:垂直または傾斜 |
Bosch:非常に高い Cryogenic:高い 混合ガス:低い |
Bosch:粗い Cryogenic:平滑 混合ガス:平滑 |
Bosch:対応 Cryogenic:限定的 混合ガス:限定的 |
Bosch:通常 Cryogenic:ほぼ不要 混合ガス:通常 |
Bosch:≈ 300 Cryogenic:≈ 10 混合ガス:30 |
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