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エッチング速度 (μm/min)
Bosch：高速 Cryogenic：中間 混合ガス：低速
フォトレジスト選択性
Bosch：非常に高い Cryogenic：高い 混合ガス：低い
プロファイル
Bosch：垂直 Cryogenic：垂直または傾斜 混合ガス：垂直または傾斜
アスペクト比
Bosch：非常に高い Cryogenic：高い 混合ガス：低い
側壁
Bosch：粗い Cryogenic：平滑 混合ガス：平滑
ARDE (アスペクト比依存エッチング) 制御
Bosch：対応 Cryogenic：限定的 混合ガス：限定的
クリーニング
Bosch：通常 Cryogenic：ほぼ不要 混合ガス：通常
最小 エッチング速度 /nm
Bosch：≈ 300 Cryogenic：≈ 10 混合ガス：30
型番
PlasmaPro 100 Estrelas DRIEカテゴリ
Metoree経由で見積もり
2025年3月25日にレビュー済み
顧客対応への満足度
初回対応までの時間への満足度
22.17時間
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エッチング装置の製品47点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
一括見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | エッチング速度 (μm/min) | フォトレジスト選択性 | プロファイル | アスペクト比 | 側壁 | ARDE (アスペクト比依存エッチング) 制御 | クリーニング | 最小 エッチング速度 /nm |
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要見積もり |
Bosch：高速 Cryogenic：中間 混合ガス：低速 |
Bosch：非常に高い Cryogenic：高い 混合ガス：低い |
Bosch：垂直 Cryogenic：垂直または傾斜 混合ガス：垂直または傾斜 |
Bosch：非常に高い Cryogenic：高い 混合ガス：低い |
Bosch：粗い Cryogenic：平滑 混合ガス：平滑 |
Bosch：対応 Cryogenic：限定的 混合ガス：限定的 |
Bosch：通常 Cryogenic：ほぼ不要 混合ガス：通常 |
Bosch：≈ 300 Cryogenic：≈ 10 混合ガス：30 |
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