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ウェハサイズ
最大200mm
ICPプラズマ源
65mmまたは300mm
温度範囲
-150~400℃
クラスター化
ALD、PECVD、イオンビームエッチング、イオンビームデポジションなどの技術を含む最大5つのモジュール
型番
PlasmaPro 100 Cobra ICPカテゴリ
Metoree経由で見積もり
2025年3月25日にレビュー済み
顧客対応への満足度
初回対応までの時間への満足度
22.17時間
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エッチング装置の製品45点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | ウェハサイズ | ICPプラズマ源 | 温度範囲 | クラスター化 |
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要見積もり | 最大200mm | 65mmまたは300mm | -150~400℃ | ALD、PECVD、イオンビームエッチング、イオンビームデポジションなどの技術を含む最大5つのモジュール |
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