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超音波ピエゾモーターを搭載したコンパクトXYステージ U-723 PILine® XYステージ-ピーアイ・ジャパン株式会社

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アクティブ軸

XY

X方向の移動範囲

22mm

Y方向の移動範囲

22mm

X方向の最大速度

200mm/秒

Y方向の最大速度

200mm/秒

ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク)

±750μrad

ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク)

±750μrad

ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)

±150μrad

ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク)

±150μrad

統合センサー

インクリメンタルリニアエンコーダ

Xにおける双方向の再現性

±0.2μm

Y方向の双方向再現性

±0.2μm

X方向の最小増分動作

0.1μm

Y方向の最小増分動作

0.1μm

センサー解像度

10nm

基準スイッチ

光学

ドライブタイプ

PILine®ピエゾモーター、パフォーマンスクラス1

X方向の駆動力

2N

Xのアントリーブスククラフト

2N

ガイド

クロスローラーガイド

Xの保持力、パッシブ

2N

Y方向の保持力、パッシブ

2N

Z方向の許容押付け力

5N

全体の質量

350g

ケーブルを除いた質量

110g

材料

アルミニウム、陽極酸化処理

使用温度範囲

0~40℃

コネクタ

D-sub15ピン×2 (オス)

ケーブルの長さ

1.5メートル

推奨コントローラー/ドライバー

C-867.2U2、C-867.10C885

この製品について

■特徴

・2軸で高速位置決め ・省スペースかつ軽量 ・高い案内精度 ・10nmの高いセンサー分解能 ・セルフロック、静止時発熱なし ・低騒音運転

■精密級XYステージ

PILine®ステージは、高速で高精度の位置決めが必要なアプリケーションに特に適しています。スイッチをオフにすると、セルフロックドライブがステージの位置を機械的に安定に保持します。したがって、エネルギー消費と発熱が大幅に削減されます。 バッテリー駆動または熱に敏感な、デューティサイクルが低いアプリケーションでは、これらの特性が役立ちます。軸の位置はエンコーダによって測定され、光学式基準スイッチによって信頼性の高い反復可能な動作が可能になります。ピエゾモーターの駆動原理とその電気的動作は安価であり、カスタマイズ可能です。

■PILine®超音波ピエゾモーター

・PILine®超音波ピエゾモーターの不可欠な部分は、結合要素を介して可動のガイド付きランナーに対してプリロードされるピエゾアクチュエーターです。 ・圧電セラミックアクチュエータは、100~200kHzの高周波AC電圧によって励起されて超音波振動します。 ・アクチュエータの変形により、ランナーに対する結合要素の周期的な斜め運動が生じます。 ・作成されるフィードは1サイクルあたり数ナノメートルです。 ・高周波は高速度をもたらします。 ・ピエゾセラミックアクチュエータをランナーに対してプリロードすることで、停止時およびスイッチオフ時のドライブのセルフロックが保証されます。

■インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定

・非接触光学式エンコーダは、プラットフォームの位置を最高の精度で直接測定します。 ・非線形性、機械的遊び、弾性変形は測定に影響しません。

■応用分野

マイクロマニピュレーション、自動化、バイオテクノロジー、サンプル操作、サンプルの位置決め、限られたスペースでのアプリケーション、10 -6hPaまでの真空アプリケーション (オプション)

  • 型番

    U-723.25

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超音波ピエゾモーターを搭載したコンパクトXYステージ U-723 PILine® XYステージ U-723.25の性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 X方向の移動範囲 Y方向の移動範囲 X方向の最大速度 Y方向の最大速度 ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) 統合センサー Xにおける双方向の再現性 Y方向の双方向再現性 X方向の最小増分動作 Y方向の最小増分動作 センサー解像度 基準スイッチ ドライブタイプ X方向の駆動力 Xのアントリーブスククラフト ガイド Xの保持力、パッシブ Y方向の保持力、パッシブ Z方向の許容押付け力 全体の質量 ケーブルを除いた質量 材料 使用温度範囲 コネクタ ケーブルの長さ 推奨コントローラー/ドライバー
超音波ピエゾモーターを搭載したコンパクトXYステージ U-723 PILine® XYステージ-品番-U-723.25 要見積もり XY 22mm 22mm 200mm/秒 200mm/秒 ±750μrad ±750μrad ±150μrad ±150μrad インクリメンタルリニアエンコーダ ±0.2μm ±0.2μm 0.1μm 0.1μm 10nm 光学 PILine®ピエゾモーター、パフォーマンスクラス1 2N 2N クロスローラーガイド 2N 2N 5N 350g 110g アルミニウム、陽極酸化処理 0~40℃ D-sub15ピン×2 (オス) 1.5メートル C-867.2U2、C-867.10C885

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ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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