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アクティブ軸
XY
ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク)
±3μrad
ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク)
±3μrad
ドライブタイプ
ピクマ®
ガイド
レバー増幅機能付きたわみガイド
Xの直線性誤差
0.02%
Yの直線性誤差
0.02%
統合センサー
静電容量式の直接位置測定
Xにおける双方向の再現性
±2nm
Y方向の双方向再現性
±2nm
型番
P-622.20L取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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ピエゾステージの製品137点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | X方向の移動範囲、開ループ | Y方向の移動範囲、開ループ | ピッチ (Y方向の動きによるθX方向の回転クロストーク) | ピッチ (X方向の動きによるθY方向の回転クロストーク) | ヨー (X方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | ヨー (Y方向の動きを伴うθZ方向の回転クロストーク) | X方向の解像度、開ループ | Y方向の解像度、開ループ | ドライブタイプ | Xの電気容量 | Y方向の電気容量 | 短期最大動作周波数 | ガイド | X方向の剛性 | Y方向の剛性 | Xの共振周波数、100gの荷重下 | Xの共振周波数、50gの荷重下 | X方向の共振周波数、無負荷 | Y方向の共振周波数、100gの荷重下 | Y方向の共振周波数、50gの荷重下 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
要見積もり | XY | 300μm | 300μm | ±3μrad | ±3μrad | ±3μrad | ±3μrad | 0.4nm | 0.4nm | ピクマ® | 3.1μF | 3.1μF | 100Hz | レバー増幅機能付きたわみガイド | 0.2N/μm | 0.2N/μm | 160Hz | 180Hz | 225Hz | 175Hz | 215Hz |
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ドライブの種類がPICMAの製品
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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000
