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Ø75mm までのミラー駆動_ S-340 ピエゾチップ/チルトプラットフォーム-ピーアイ・ジャパン株式会社

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返答時間

22.3時間

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θXの共振周波数、無負荷

共振周波数 (θY、無負荷)

慣性モーメント θX、無負荷

慣性モーメント θY、無負荷

全体の質量

共振周波数 (θX、ガラスミラー負荷時)

全型番で同じ値の指標

アクティブ軸

θX, θY

θXの回転範囲、開ループ

2mrad

θYの回転範囲、開ループ

2mrad

θXでの分解能、開ループ

0.02μrad

θYの分解能、開ループ

0.02μrad

ドライブタイプ

ピクマ®

電気容量 (θX)

6μF

電気容量 (θY)

6μF

ピボットポイントからプラットフォーム表面までの距離

7.5mm

ガイド

レバー増幅機能付きたわみガイド

材料

ハウジング: アルミニウム。 プラットフォーム: アルミニウム。

コネクタ

レモLVPZT

推奨コントローラー/ドライバー

E-503、E-727

ケーブルの長さ

2m

使用温度範囲

-20~80℃

θXでの回転範囲回転範囲 (θY)

2mrad

θXの直線性誤差

0.10%

θYの直線性誤差

0.10%

統合センサー

SGS、間接位置測定

システム解像度 (θX)

0.2μrad

システム解像度 (θY)

0.2μrad

θXの双方向再現性

±0.075μrad

θYの双方向繰返し精度

±0.075μrad

センサーコネクタ

ひずみゲージセンサー用LEMO

この製品について

■特徴

・最大20nrad の分解能、優れた位置安定性 ・4mradまでの光ビーム偏向 ・プラットフォームとミラーの間のCTEを調整するためのさまざまな材料 ・より高い精度とダイナミクスを実現する平行運動学 ・ミリ秒未満の応答時間 ・Ø75mm (3") までのミラーの場合、ご要望に応じてØ100 mm (4") ・閉ループバージョンによる直線性の向上 ・優れた温度安定性

■応用分野

・画像処理・安定化 ・光トラップ ・大きな偏向角によるレーザースキャン/ビームステアリング ・レーザーチューニング ・光学フィルター/スイッチ ・光学 ・ビーム安定化

■フレクシャーガイドによる高いガイド精度

・フレクシャーガイドにはメンテナンス、摩擦、磨耗がなく、潤滑剤も必要ありません。 ・剛性が高いため、高い耐荷重が可能であり、衝撃や振動に対して鈍感です。 ・広い温度範囲で動作します。

■平行運動学による高ダイナミックな多軸動作

・パラレルキネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。 ・最小の質量慣性とすべての軸の同一設計により、高速かつダイナミックでありながら正確な動作が可能になります。

■ミラーとプラットフォームの CTE を調整するための材料オプション

熱膨張係数を調整するには、次の材料の組み合わせが推奨されます。 ・アルミ製プラットフォーム:アルミ製ミラー ・インバー製雲台:石英ガラス製ミラー/Zerodur

  • 型番

    S-340.A0L

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Ø75mm までのミラー駆動_ S-340 ピエゾチップ/チルトプラットフォーム S-340.A0Lの性能表

商品画像 価格 (税抜) アクティブ軸 θXの回転範囲、開ループ θYの回転範囲、開ループ θXでの分解能、開ループ θYの分解能、開ループ ドライブタイプ 電気容量 (θX) 電気容量 (θY) ピボットポイントからプラットフォーム表面までの距離 ガイド θXの共振周波数、無負荷 共振周波数 (θY、無負荷) 慣性モーメント θX、無負荷 慣性モーメント θY、無負荷 全体の質量 材料 共振周波数 (θX、ガラスミラー負荷時) コネクタ 推奨コントローラー/ドライバー ケーブルの長さ 使用温度範囲
Ø75mm までのミラー駆動_ S-340 ピエゾチップ/チルトプラットフォーム-品番-S-340.A0L 要見積もり θX, θY 2mrad 2mrad 0.02μrad 0.02μrad ピクマ® 6μF 6μF 7.5mm レバー増幅機能付きたわみガイド 1.7kHz 1.7kHz 18kg・mm² 18kg・mm² 355g ハウジング: アルミニウム。
プラットフォーム: アルミニウム。
1.4kHz レモLVPZT E-503、E-727 2m -20~80℃

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ドライブの種類

PICMA PILine

移動範囲 µm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000

分解能 nm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11

共振周波数 Hz

0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000

剛性 N/μm

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5

双方向再現性 nm

0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20

直線性誤差 %

0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5

電気容量 µF

0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50

回転クロストーク µrad

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

22.3時間

会社概要

ピーアイ・ジャパン株式会社は、Physik Instrumente GmbH社(ドイツ)の日本法人として、ピエゾやモーターを用いた超精密位置決め製品の販売・提案・修理・サービスを行っております。
1991年にドイ...

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  • 本社所在地: 神奈川県

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