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コネクタ
推奨コントローラー/ドライバー
アクティブ軸
θX θY
統合センサー
SGS、間接位置測定
ドライブタイプ
ピクマ®
公称電圧
120V
ピボットポイントからプラットフォーム表面までの距離
4mm
ガイド
レバー増幅機能付きたわみガイド
慣性モーメントθX、無負荷
30g・mm²
慣性モーメントθY、無負荷
30g・mm²
材料
スチール、プラットフォームチタン
ケーブルの長さ
2m
型番
S-331.2SL取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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ピエゾステージの製品137点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | θXでの回転範囲 | 回転範囲 (θY) | θXの回転範囲、開ループ | θYの回転範囲、開ループ | θXの直線性誤差 | θYの直線性誤差 | 統合センサー | θXでの分解能、開ループ | θYの分解能、開ループ | θXの双方向再現性 | θYの双方向繰返し精度 | センサー解像度、回転 | ドライブタイプ | 公称電圧 | 電気容量 (θX) | 電気容量 (θY) | ピボットポイントからプラットフォーム表面までの距離 | ガイド | 共振周波数 (θX) 、ガラスミラーによる荷重下 | θX の共振周波数、無負荷 | 共振周波数 (θY)、ガラスミラーによる荷重下 | 共振周波数 (θY、無負荷) | 慣性モーメントθX、無負荷 | 慣性モーメントθY、無負荷 | 全体の質量 | 材料 | コネクタ | 推奨コントローラー/ドライバー | ケーブルの長さ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | θX θY | 3mrad | 3mrad | 4.2 mrad | 4.2 mrad | 0.30% | 0.30% | SGS、間接位置測定 | 0.05μrad | 0.05μrad | ±1.5μrad | ±1.5μrad | 0.1μrad | ピクマ® | 120V | 0.96μF | 0.96μF | 4mm | レバー増幅機能付きたわみガイド | 9,020Hz | 10,050Hz | 9,020Hz | 10,050Hz | 30g・mm² | 30g・mm² | 130g | スチール、プラットフォームチタン | レモLVPZT | E-509.S3 + E-505.00 (2×) + E-505.00S + E-500.00 | 2m |
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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000
