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移動範囲 (-20~120V) オープンループ時
再現性X、Y、Z
無負荷時共振周波数 (X,Y,Z)
共振周波数@330g (X,Y,Z)
電気容量 (X,Y,Z)
共振周波数@100g (X,Y,Z)
内蔵センサー
静電容量
負荷容量
5 kg
ピエゾセラミック
PICMAPICM A P-885
動作温度範囲
-20~80 ℃
材料
アルミニウム
センサー/ボルト接続
CLバージョン:LEMO CDバージョン:D-sub25W3 (m) 1.5mケーブル
推奨コントローラ
E-503, E-505, E621,E-712 , E-727
型番
P-561.3DD取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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精密ステージの製品414点中、注目ランキング上位6点
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商品画像 | 価格 (税抜) | クローズドループ | 内蔵センサー | 移動範囲 (-20~120V) オープンループ時 | 移動範囲 (クローズドループ時) | Z軸分解能 (オープンループ時) | リニアリティエラー (θX,θY) | 再現性X、Y、Z | ピッチング (X、Y) | クロストークθX,θY (Z方向へ動作時) | ヨーイング (X,Y) | 平坦度 (X、Y) | クロストーク (X、Y) (Z方向へ動作時) | 無負荷時共振周波数 (X,Y,Z) | 共振周波数@100g (X,Y,Z) | 共振周波数@330g (X,Y,Z) | 負荷容量 | ピエゾセラミック | 電気容量 (X,Y,Z) | 動作温度範囲 | 材料 | 質量 | センサー/ボルト接続 | 推奨コントローラ |
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要見積もり | 45x45x15 µm直接駆動 | 静電容量 | 58 × 58 × 18 μm | 0.2 μm | 0.1 nm | 0.01 % | 2 / 2 / 2 nm | ±3 µrad | ±3 µrad | ±3 µrad | ±10 nm | ±20 nm | 920 / 920 / 1050 Hz | 860 / 860 / 950 Hz | 500 / 500 / 470 Hz | 5 kg |
PICMAPICM A P-885 |
38 / 38 / 6 µF | -20~80 ℃ | アルミニウム | 1.55 kg |
CLバージョン:LEMO CDバージョン:D-sub25W3 (m) 1.5mケーブル |
E-503, E-505, E621,E-712 , E-727 |
精密ステージをフィルターから探すことができます
アクティブ軸
X Y Z θZ移動範囲 mm
0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000最小増分モーション µm
0 - 1 1 - 5 5 - 10最大速度 mm/s
0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600駆動力 N
0 - 1 1 - 20 20 - 200許容押し力 N
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500ドライブの種類
ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーターガイド
クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング