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推奨コントローラ/ドライバ
アクティブ軸
Z
移動範囲 (Z) 、開ループ (µm)
120
ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (μrad)
±20
ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はZ) (μrad)
±5
ロール (回転クロストーク (θZ、Zの動き) (μrad)
±5
帯域幅、Zで10%ステップ (Hz)
40
Z単位の分解能、開ループ (nm)
0.2
Zの10%ステップのセトリング時間 (ms)
25
ドライブの種類
ピクマ®
Z単位の電気容量 (μF)
1.5
ガイド
レバー増幅付き曲げガイド
Zの剛性 (N/μm)
0.45
Zの共振周波数、無負荷 (Hz)
460
Zの共振周波数、30gの負荷下 (Hz)
375
Zの共振周波数、100gの負荷下 (Hz)
265
Zでの許容プッシュ力 (N)
15
Z単位の許容引張力 (N)
10
全体の質量 (g)
176
材料
アルミニウム、スチール
使用温度範囲 (℃)
-20から80
ケーブル長 (m)
1.5
Z単位の移動範囲 (µm)
100
Zの直線性誤差 (%)
0.1
Zでの双方向再現性 (nm)
±5
統合センサー
SGS、間接位置測定
Zでのシステム解像度 (nm)
2
センサーコネクタ
レモFFA.0S.304.CLAC33
型番
P-611.ZSシリーズ
P-611.Z Z軸小型ピエゾステージ取扱企業
ピーアイ・ジャパン株式会社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | アクティブ軸 | 移動範囲 (Z) 、開ループ (µm) | ヨー (θXの回転クロストークとZの運動) (μrad) | ピッチ (回転クロストーク (θY、運動はZ) (μrad) | ロール (回転クロストーク (θZ、Zの動き) (μrad) | 帯域幅、Zで10%ステップ (Hz) | Z単位の移動範囲 (µm) | Zの直線性誤差 (%) | Z単位の分解能、開ループ (nm) | Zの10%ステップのセトリング時間 (ms) | Zでの双方向再現性 (nm) | 統合センサー | Zでのシステム解像度 (nm) | ドライブの種類 | Z単位の電気容量 (μF) | ガイド | Zの剛性 (N/μm) | Zの共振周波数、無負荷 (Hz) | Zの共振周波数、30gの負荷下 (Hz) | Zの共振周波数、100gの負荷下 (Hz) | Zでの許容プッシュ力 (N) | Z単位の許容引張力 (N) | 全体の質量 (g) | 材料 | 使用温度範囲 (℃) | コネクタ | ケーブル長 (m) | 推奨コントローラ/ドライバ | センサーコネクタ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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要見積もり | Z | 120 | ±20 | ±5 | ±5 | 40 | 100 | 0.1 | 0.2 | 25 | ±5 | SGS、間接位置測定 | 2 | ピクマ® | 1.5 | レバー増幅付き曲げガイド | 0.45 | 460 | 375 | 265 | 15 | 10 | 176 | アルミニウム、スチール | -20から80 | レモFFS.00.250.CTCE25 | 1.5 | E-610,E-625,E-665,E-709.SRG,E-836 | レモFFA.0S.304.CLAC33 |
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ドライブの種類がPICMAの製品
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ドライブの種類
PICMA PILine移動範囲 µm
0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 50,000分解能 nm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 11共振周波数 Hz
0 - 200 200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 10,000 10,000 - 20,000剛性 N/μm
0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 5双方向再現性 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 10 10 - 20直線性誤差 %
0 - 0.05 0.05 - 0.1 0.1 - 0.2 0.2 - 0.3 0.3 - 0.5電気容量 µF
0 - 1 2 - 5 5 - 10 10 - 50回転クロストーク µrad
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 1,000
