バキュームプロダクツ株式会社

■概要 同時2軸のマニピュレータで基板回転と首振り等に使用するのに適しています。 ■特長 オールメタル製により≦200℃のベークが可能で...

■概要 真空容器の内部に電源用、加熱用などの大電流を大気側から供給するための端子です。 ■特長 真空アニール装置などの加熱ヒーター...

■概要 水晶式隔膜真空計・クオーツゲージは、高精度・高感度な水晶振動式圧電素子と独創的な自社特許の感圧・断熱機構により0.1Paから10...

■概要 ベースフランジを基準にXYZに移動させます。高精度のマイクロメータを使用していますので真空内の位置決めが容易に行えます。 ■...

■概要 ベースフランジを基準にXYに移動させます。高精度のリニアガイドを使用していますので、再現性の良い真空内の位置決めが容易に行...

■概要 真空内に直線運動を伝える機構で、熱電対を取り付けて温度測定、磁気移送機構の先端サポートなど用途は様々です。ベローズを使っ...

■概要 XYステージと組み合わせて、XYZステージとして使用することが可能で、外形に台形ネジを配置した省スペースなZ移動機構です。 ■特...

■概要 ビューイングポートシャッタ、基板回転など回転を真空内に伝える機構です。溶接ベローズを使った回転導入機ですので、安価に出来...

■概要 高精度のパイプを使用することで、試料を真空チャンバ間で搬送する用途の他に、上下機構、シャッタにも使用しています。 XYステー...