THKプレシジョン株式会社

1軸から3軸一体型まで揃えストロークも豊富なピエゾステージの基本シリーズ ■2つの機構で性能分類 高い共振周波数を備え高速応答性重視...

• ステージ

• ピエゾステージ

対物レンズの焦点調整用に専用設計したピエゾステージです。 顕微鏡や各種の検査、測定装置、観察機器に組み込むことでレンズの焦点調整...

• ステージ

• ピエゾステージ

数mm～数十mmのストロークを20～40nmの高い分解能で位置決め制御できる高精度ステージです。アクチュエータにPiezoMotor社のPiezoLEGS®...

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• ピエゾステージ

内蔵変位センサとして「歪みゲージ式センサ」を採用しコストを抑えた汎用ピエゾステージです。 20nmの移動分解能とフィードバック制御に...

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• ピエゾステージ

対物レンズの焦点調整用に専用設計したピエゾステージです。 顕微鏡や各種の検査、測定装置、観察機器に組み込むことでレンズの焦点調整...

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• ピエゾステージ

■特長 ・100N (10kgf) 以上の荷重を高分解能で検知、測定できます。 ・精密加工や精密プレス時の力測定などに最適です。 ・形状や感度変...

• センサー

• フォースセンサー

■特長 ・μN (mgf) レベルの微小な力を高感度で検知、測定できます。 ・軽量、コンパクトなので取り扱いしやすく、研究開発や装置組み込...

• センサー

• フォースセンサー

精密切削におけるナノ、マイクロ加工を実現するステージです。 工具の切り込みやワーク (加工対象物) を高速、高精度に位置制御できます...

• ステージ

• ピエゾステージ

移動テーブル中央に開口 (透過穴) を有したラインナップです。レーザ透過用や顕微鏡、分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピン...

• ステージ

• ピエゾステージ

圧電アクチュエータを急峻に伸長させ、 ワーク (移動対象物) に打撃力を与えて移動させる電子ハンマーです。 仮組みした部品の微細位置...

• 駆動機構・部品

• 圧電アクチュエータ

■特長 ・「微小力センサ」「高剛性センサ」共通の低ノイズアンプです。 ・各センサヘッドと直接接続し、圧力に比例した電圧信号を出力し...