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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 処理ワーク | 支持体基板 | スピンカップ | 貼り合わせ機構 | カセット形式 | その他 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
TWSシリーズ 塗布貼合装置 |
要見積もり |
2000シリーズ Φ150~200mmウェーハ (+1.0) |
GLASS。処理ワークの0.5~1.0mmの大口径のものを推奨。 |
搭載 (有機溶剤の使用なし) |
搭載 |
2000シリーズ通常OPENまたは、倍ピッチカセット |
安全仕様準挻 |