半導体製造装置 貼合・剥離装置 TWH-SR-CCシリーズ 支持体機械剥離洗浄一貫装置-TWH-SR-CCシリーズ 支持体機械剥離洗浄一貫装置
半導体製造装置 貼合・剥離装置 TWH-SR-CCシリーズ 支持体機械剥離洗浄一貫装置-タツモ株式会社

半導体製造装置 貼合・剥離装置 TWH-SR-CCシリーズ 支持体機械剥離洗浄一貫装置
タツモ株式会社



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この製品について

熱硬化型/可塑型材料で貼合されたデバイスの支持体を剥離する装置です。機械剥離後、残渣洗浄まで自動で行います。テープフレームでハンドリングするため、デバイスの薄化は理論上、可能な数値の極限まで薄化可能です。

■製品特徵

・プラットホーム タツモマルチレイアウト機構採用により、ユニット単体から装置化まで多彩な形態をご提供。 ・プロセスユニット 機械剥離ユニット搭載 洗浄機構搭載 防爆、消防法等、各種安全仕様 ・操作性 GUI画面による優れた操作性を実現。複雑なレシピ編集も簡単にできます。

  • シリーズ

    半導体製造装置 貼合・剥離装置 TWH-SR-CCシリーズ 支持体機械剥離洗浄一貫装置

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半導体製造装置 貼合・剥離装置 TWH-SR-CCシリーズ 支持体機械剥離洗浄一貫装置 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 供給ワークサイズ 供給ワークカセットローダ 支持体収納アンローダ EFEM 機械剥離 洗浄機構
半導体製造装置 貼合・剥離装置 TWH-SR-CCシリーズ 支持体機械剥離洗浄一貫装置-品番-TWH-SR-CCシリーズ 支持体機械剥離洗浄一貫装置

TWH-SR-CCシリーズ 支持体機械剥離洗浄一貫装置

要見積もり ダイシングフレーム8インチ、12インチ用 ダイシングフレームカセット/ロードポート OPENカセット式アンローダ ロボット、 アライナ搭載 1ユニット搭載可能 最大2ユニット搭載可能

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

タツモ株式会社は、半導体製造装置や液晶製造装置などを取り扱っている企業です。 電子機能部品の製造などを目的として1972年に会社を設立しています。設立以降、1980年に全自動レジスト塗布装置、1987年にウェーハマーキ...

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  • 本社所在地: 岡山県
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