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メカトロニック・プロダクト 単軸精密ステージ取扱企業
深研精密株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ステージサイズ | ストローク | 本体材質 | 重量 | 静的最大負荷 | 走り平行度 | 走り真直度 | 位置決め精度 (絶対値) | 繰り返し位置決め精度 | 最高速度 | ステッピングモーター | モーター分解能 | 送り機構 | 支持機構 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
N8-X4015 |
要見積もり |
40×40mm |
±7.5mm |
アルミニウム合金 A6061-T651 (時効硬化処理) , 表面アルマイト |
0.2kgf |
6.0kgf (58.8N) |
0.030mm |
0.003mm |
≦0.015mm |
±0.005mm (ステージ本体：±0.001) |
16mm/sec (モーター速度換算) |
2相 |
0.005mm (1パルス辺り) |
ボールねじ リード1mm |
クロスローラーガイド |
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使用用途
#半導体検査 #レーザー加工 #光学調整 #顕微観察 #微細加工 #ナノ計測 #自動位置決め #生体観察 #精密組立 #表面検査 #電子部品配置駆動方式
手動型 電動型 空圧型軸構成
単軸型 二軸型 三軸型 回転型ガイド方式
クロスローラ型 ボールリニア型 エアーベアリング型 マグレブ型精度特性
高精度型 長ストローク型 高剛性型アクティブ軸
X Y Z θZ移動範囲 mm
0 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500 500 - 1,000最小増分モーション µm
0 - 1 1 - 5 5 - 10最大速度 mm/s
0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 100 100 - 600駆動力 N
0 - 1 1 - 20 20 - 200許容押し力 N
0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 500ドライブの種類
ステッピングモーター DCモーター ブラシレスDCモーター DCギアモーター 三相リニアモーター ピエゾモーター 三相トルクモーターガイド
クロスローラーガイド 再循環ボールベアリングガイド レバー増幅付き曲げガイド ボールガイド エアベアリング
