一般半導体マイクロパーティクルピッカー CAP-series-CAP-series

一般半導体マイクロパーティクルピッカー CAP-series
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この製品について

■概要イメージセンサーや半導体上の異物を検出し、ゲルスティックで除去する装置です。

■特長・Φ2μm程度の微小なパーティクルまで検出可能
・FOV10mm角のワンショット検査
・徹底したクリーン構造の装置
・ゲルスティックは位置、荷重制御によりデバイスダメージ無し
・ゲルスティック自動交換機能搭載
・ゲルスティックメーカーのトレイをそのまま稼働中にセッティング可能
・設置スペース効率の良い小型な装置サイズ
・インライン接続用のバッファコンベアも装備可能
※検出能力は対象ワーク・パーティクル形状に依存するため、事前の評価が必要です。
※0.5～1μmの検出にも対応する高分解能仕様も開発中

■使用例イメージセンサーや半導体上の異物を検出し、ゲルスティックで除去する装置です。

※ 性能改良のため、外観及び仕様の一部を変更することがありますのでご了承ください。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
一般半導体マイクロパーティクルピッカー CAP-series

取扱企業
株式会社PFA

カテゴリ

半導体製造

半導体製造装置

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一般半導体マイクロパーティクルピッカー CAP-series 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	対象製品	対象製品サイズ	対象キャリアサイズ	装置タクト	クリーン度	使用環境	搬送パスライン	駆動源	装置寸法および質量
	CAP-series	要見積もり	イメージセンサー、ガラスフィルター、その他半導体製品	5×5mm~15×15mm	L：186~200mm W：45~110mm T：0.2~2mm	1.2秒/個 UPH3000 (異物数 0個/キャリア) 2.1秒/個 UPH1750 (異物数 3個/キャリア)	ISO Class4 ※検査ステージのキャリア吸着ステージ付近	温度 25±5℃ 湿度 30~70%	950+15/-10mm※SMEMA準拠	入力電源単相 AC200V~220V、20A エアー 0.5MPa、20NL/min ドライクリーンエア真空真空ポンプ付属	本体部：幅1,010×奥行き900×高さ1,650mm バッファコンベア部：幅470×奥行き380×高さ1,210mm ※FFU (HEPAユニット) 、パトライト等の突起部を除く