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一般半導体 マイクロパーティクルピッカー CAP-series取扱企業
株式会社PFAカテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 対象製品 | 対象製品サイズ | 対象キャリアサイズ | 装置タクト | クリーン度 | 使用環境 | 搬送パスライン | 駆動源 | 装置寸法および質量 |
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CAP-series |
要見積もり | イメージセンサー、ガラスフィルター、その他半導体製品 | 5×5mm~15×15mm |
L:186~200mm W:45~110mm T:0.2~2mm |
1.2秒/個 UPH3000 (異物数 0個/キャリア) 2.1秒/個 UPH1750 (異物数 3個/キャリア) |
ISO Class4 ※検査ステージのキャリア吸着ステージ付近 |
温度 25±5℃ 湿度 30~70% |
950+15/-10mm※SMEMA準拠 |
入力電源 単相 AC200V~220V、20A エアー 0.5MPa、20NL/min ドライクリーンエア 真空 真空ポンプ付属 |
本体部:幅1,010×奥行き900×高さ1,650mm バッファコンベア部:幅470×奥行き380×高さ1,210mm ※FFU (HEPAユニット) 、パトライト等の突起部を除く |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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