水晶ブランク用マスク詰め装置 PMI-30
株式会社PFA

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この製品について

■概要・トレー上に撒かれた水晶片 (ブランク) をピックアップして、画像計測・位置補正後に成膜用の金属マスクに移載挿入する装置です。
・小型チップ部品をトレーなどに移載、整列する装置としても応用可能です。

■特長・トレーにまかれたブランクを画像認識して、吸着ノズルでピックアップ後、ブランクを画像計測を行い、位置補正後に成膜用金属マスク等に移載挿入する装置です。
・トレー上のブランクを画像認識するカメラと、マスク位置を補正するカメラ、ピックアップしたブランクを位置補正するカメラ、計3台のカメラを使用して、高精度に画像処理することにより、小型ブランクをより確実に成膜用金属マスクに移載挿入することが可能です。
・2016/1612/1210用小型ブランク及び薄型ブランクに最適です。
・設置スペースが1,000×1,000 (mm) と少ない装置です。

■使用例トレー上に撒かれた水晶片 (ブランク) をピックアップして、画像計測・位置補正後に成膜用の金属マスクに移載挿入する装置です。

■オプション・小型チップ部品をトレーなどに移載、整列する装置としても応用可能です。
・ピッチの異なるトレーからトレーへ、小型チップ部品の移載装置して使用することが可能です。
・水晶ブランクを洗浄パレットなどへの移載が可能となります。
・標準サイクルタイム 1.5s以外にもサイクルタイム0.8sの高速タイプも製作可能です。

※ 性能改良のため、外観及び仕様の一部を変更することがありますのでご了承ください。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
水晶ブランク用マスク詰め装置 PMI-30

取扱企業
株式会社PFA

カテゴリ

半導体製造

半導体製造装置

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水晶ブランク用マスク詰め装置 PMI-30 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	対象ワーク	対象ワークサイズ	対象厚み	画像位置補正	ワーク供給	ワーク収納	サイクルタイム	挿入率	外形寸法	オプション
	PMI-30	要見積もり	水晶片 (水晶ブランク)	3.2×2.5、2.5×2.0、2.0×1.6、1.6×1.2、1.2×1.0 (mm) 用の水晶ブランク　 ※ただし、標準仕様は寸法が近い3品種	20μm~200μm (これ以下の厚みにつきましては、ご相談ください。)	成膜用金属マスクの位置補正、ブランク位置補正と回転方向補正	平板トレー (ばらまきトレー)	成膜用金属マスク (10段マガジンにセット)	約1.5秒／個	98%以上	W1,000×D1,000×H1,670mm (ヘパフィルター、パトライトなどの突起物除く)	洗浄パレットなどへの移載が可能です