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小型現像装置 ADE-3000S-ADE-3000S
小型現像装置 ADE-3000S-アクテス京三株式会社

小型現像装置 ADE-3000S
アクテス京三株式会社

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この製品について

■特徴

・マルチステップ対応スプレーデベロッパー ・パドル現像対応 ・各種カスタム仕様対応

  • シリーズ

    小型現像装置 ADE-3000S

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小型現像装置 ADE-3000S 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 処理能力 プログラム設定 回転数 開店時間 チャンバー ノズル 使用薬液 真空スイッチ開閉圧 局所排気 電源 外形寸法 本体 (mm) 重量
小型現像装置 ADE-3000S-品番-ADE-3000S

ADE-3000S

要見積もり

φ2インチ~φ8インチまたは、150mmx150mm (角形) 1枚

1プログラム最大99ステップ/50プログラムを保存可能

0~3,000rpm

0~999sec

SUS304製

現像2系統、リンス1系統 回転アーム方式 (2軸)

アルカリ溶剤、アルコール系溶剤

-300mmmHg以下

排気ポート (0.3m3/分)

AC100 8A 50/60Hz

820wx520Dx560H

約65kg

フィルターから探す

半導体製造装置 をフィルターから探すことができます

ウェハーサイズ mm

0 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350

チップサイズ mm

0 - 1 1 - 2 2 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 35

基板サイズ mm

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

処理能力 秒/chip

0 - 1 1 - 2 2 - 31

ボンディング精度 μm

0 - 1 1 - 3 3 - 6 6 - 13 13 - 21

電源電圧 V

90 - 120 120 - 220 220 - 260

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  • 本社所在地: 神奈川県
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