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小型現像装置 ADE-3000S取扱企業
アクテス京三株式会社カテゴリ
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半導体製造装置の製品120点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 処理能力 | プログラム設定 | 回転数 | 開店時間 | チャンバー | ノズル | 使用薬液 | 真空スイッチ開閉圧 | 局所排気 | 電源 | 外形寸法 本体 (mm) | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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ADE-3000S |
要見積もり | φ2インチ~φ8インチまたは、150mmx150mm (角形) 1枚 | 1プログラム最大99ステップ/50プログラムを保存可能 | 0~3,000rpm | 0~999sec | SUS304製 | 現像2系統、リンス1系統 回転アーム方式 (2軸) | アルカリ溶剤、アルコール系溶剤 | -300mmmHg以下 | 排気ポート (0.3m3/分) | AC100 8A 50/60Hz | 820wx520Dx560H | 約65kg |
