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ターボ分子ポンプ UTM70B-UTM70B
ターボ分子ポンプ UTM70B-アルバック販売株式会社

ターボ分子ポンプ UTM70B
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この製品について

■概要

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化に より省スペースを実現。優れた高背圧特性により補助ポンプの小型化も可能になりました。

■用途

・分析装置、研究開発装置、実験装置などの主排気系 ・蒸着装置、スパッタリング装置などの主排気系 ・H2、Heなどの軽ガスの主排気系

■取り付け方向自由

取り付け方向に制限がないため装置設計の自由度が広がります。

■オンボードコントローラ搭載

コントローラはターボ本体にマウントされているため省配線と排気系の小型化に有効です。

■高圧縮比・高排圧

圧縮比が高く、高い背圧での運転が可能なため補助ポンプの小型化が可能です。

■3種類のフランジを用意

VG65、ICF114、ISO63-Kの3種類の吸気口フランジの選択が可能です。

■清浄な真空

運転時はもちろん、ポンプ停止時においても炭化水素系の逆流が少ない設計をしています。

■低騒音

無負荷運転時の騒音は48dB以下と静かです。 (ISO63-Kフランジタイプの測定値です。)

  • シリーズ

    ターボ分子ポンプ UTM70B

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会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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