枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400は、シリコン系の絶縁膜・バリア膜等の成膜に最適な、量産用PE-CVD装置です。■用途
・パワーデバイス ・LED、LD、高速デバイス ・有機EL ・太陽電池 ・MEMS■特長
・27.12MHzの高密度プラズマプロセス ・SiH4系：SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系：SiO2膜の対応可能 ・NF3+Arプラズマによるチャンバークリーニング可能 ・有機EL向けに低温成膜用ヒーター搭載可能 ・トレー搬送で、最大□200mmまで (CME-200E) の基板サイズに対応 (CME-400:300×400に対応)-
シリーズ
枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400
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取扱企業
アルバック販売株式会社
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カテゴリ
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枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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CME-200E/400 |
要見積もり |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
