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枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400-CME-200E/400
枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400-アルバック販売株式会社

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■概要

枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400は、シリコン系の絶縁膜・バリア膜等の成膜に最適な、量産用PE-CVD装置です。

■用途

・パワーデバイス ・LED、LD、高速デバイス ・有機EL ・太陽電池 ・MEMS

■特長

・27.12MHzの高密度プラズマプロセス ・SiH4系：SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系：SiO2膜の対応可能 ・NF3+Arプラズマによるチャンバークリーニング可能 ・有機EL向けに低温成膜用ヒーター搭載可能 ・トレー搬送で、最大□200mmまで (CME-200E) の基板サイズに対応 (CME-400:300×400に対応)

  • シリーズ

    枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400

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枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400 品番1件

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アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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