有機EL成膜装置 SOLCIET,SATELLA,ZELDAシリーズ-SOLCIET

有機EL成膜装置 SOLCIET,SATELLA,ZELDAシリーズ
アルバック販売株式会社

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この製品について

■概要アルバックは、有機ELに向けた材料開発用実験システムから量産用クラスターシステム、インラインシステムをラインアップしております。

■用途有機ELディスプレイ、有機EL照明

■特徴SOLCIETは、前処理室、有機成膜室、電極成膜室および中間室、グローブボックスといった独立した部屋構成を持っており、材料評価からデバイス特性評価まで行なえる実験システムです。各種蒸発源はもとよりスパッタカソード等の豊富なオプションも用意し実験ユースの幅を広げます。対応基板サイズは、□100mmを標準としています。

SATELLA は、各プロセス室を独立させたマルチチャンバースタイルとし、SOLCIETでは困難であった、フルカラーデバイス評価を可能としています。8角形の搬送室を有し、ニーズに合わせ有機成膜室を2〜4室まで対応できます。また、高精細マスク合わせ機構を搭載しアクティブマトリックスフルカラーデバイスにも対応しております。対応基板サイズは、□200mmを標準としています。

ZELDAシリーズは、量産に対応したシステムです。新開発の蒸発源を盛り込むなど豊富なアプリケーションを用意しております。対応基板サイズは、G2以上対応可能です。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
有機EL成膜装置 SOLCIET,SATELLA,ZELDAシリーズ

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

加工・工作機器

成膜装置

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有機EL成膜装置 SOLCIET,SATELLA,ZELDAシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	使用用途	基板サイズ (MAX)	装置形態	システム構成
	SOLCIET	要見積もり	研究開発	□100mm	独立チャンバー連結型	前処理→ホール層→発光層→電子輸送層→電極層→封止 (手動)